功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2013年
8期
1150-1152
,共3页
张新月%麻华丽%曾凡光%姚宁%张兵临
張新月%痳華麗%曾凡光%姚寧%張兵臨
장신월%마화려%증범광%요저%장병림
场发射三极管%前栅极%纳米非晶碳和碳纳米管
場髮射三極管%前柵極%納米非晶碳和碳納米管
장발사삼겁관%전책겁%납미비정탄화탄납미관
采用微波等离子体化学气相沉积法在不锈钢衬底上制备出了纳米非晶碳和碳纳米管混合薄膜,二极管结构测试表明薄膜材料具有优良的场发射性能.利用制备的薄膜材料作为阴极制作了前栅极结构的场发射三极管器件并对其性能进行了测试.结果表明该器件具有优良的栅控性能,亮度很高,有良好的应用前景.
採用微波等離子體化學氣相沉積法在不鏽鋼襯底上製備齣瞭納米非晶碳和碳納米管混閤薄膜,二極管結構測試錶明薄膜材料具有優良的場髮射性能.利用製備的薄膜材料作為陰極製作瞭前柵極結構的場髮射三極管器件併對其性能進行瞭測試.結果錶明該器件具有優良的柵控性能,亮度很高,有良好的應用前景.
채용미파등리자체화학기상침적법재불수강츤저상제비출료납미비정탄화탄납미관혼합박막,이겁관결구측시표명박막재료구유우량적장발사성능.이용제비적박막재료작위음겁제작료전책겁결구적장발사삼겁관기건병대기성능진행료측시.결과표명해기건구유우량적책공성능,량도흔고,유량호적응용전경.
