功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2013年
8期
1124-1127
,共4页
王明光%杨慧%汪嘉恒%宁策%徐奕辰%祁阳
王明光%楊慧%汪嘉恆%寧策%徐奕辰%祁暘
왕명광%양혜%왕가항%저책%서혁신%기양
ZnO薄膜%微观结构%溶胶-凝胶%Al掺杂%自组装机制
ZnO薄膜%微觀結構%溶膠-凝膠%Al摻雜%自組裝機製
ZnO박막%미관결구%용효-응효%Al참잡%자조장궤제
采用溶胶-凝胶(sol-gel)法在玻璃衬底上制备了纳米ZnO掺铝薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)和透射电镜(TEM)对薄膜的微观结构进行了系统的研究.结果表明,所有在玻璃衬底上生长的ZnO薄膜均具有c轴择优取向.掺杂量为2％(原子分数)时,Al在ZnO薄膜中达到最高水平.过量Al掺杂明显减弱薄膜的c轴择优取向.随着Al掺杂量的增加,ZnO晶粒进一步细化.其原因是未进入ZnO晶格的Al以非晶Al2O3的形式在ZnO晶界上形成了对晶界运动的钉扎,从而阻碍了ZnO晶粒进一步长大.
採用溶膠-凝膠(sol-gel)法在玻璃襯底上製備瞭納米ZnO摻鋁薄膜,利用X射線衍射儀(XRD)和透射電鏡(TEM)對薄膜的微觀結構進行瞭繫統的研究.結果錶明,所有在玻璃襯底上生長的ZnO薄膜均具有c軸擇優取嚮.摻雜量為2％(原子分數)時,Al在ZnO薄膜中達到最高水平.過量Al摻雜明顯減弱薄膜的c軸擇優取嚮.隨著Al摻雜量的增加,ZnO晶粒進一步細化.其原因是未進入ZnO晶格的Al以非晶Al2O3的形式在ZnO晶界上形成瞭對晶界運動的釘扎,從而阻礙瞭ZnO晶粒進一步長大.
채용용효-응효(sol-gel)법재파리츤저상제비료납미ZnO참려박막,이용X사선연사의(XRD)화투사전경(TEM)대박막적미관결구진행료계통적연구.결과표명,소유재파리츤저상생장적ZnO박막균구유c축택우취향.참잡량위2％(원자분수)시,Al재ZnO박막중체도최고수평.과량Al참잡명현감약박막적c축택우취향.수착Al참잡량적증가,ZnO정립진일보세화.기원인시미진입ZnO정격적Al이비정Al2O3적형식재ZnO정계상형성료대정계운동적정찰,종이조애료ZnO정립진일보장대.
