科学时代
科學時代
과학시대
SCIENTIFIC EPOCH
2012年
13期
,共1页
PECVD%非晶硅薄膜%衬底%氮化硅
PECVD%非晶硅薄膜%襯底%氮化硅
PECVD%비정규박막%츤저%담화규
本文采用PECVD法制备非晶硅薄膜，采用了氮化硅、氧化硅、单晶硅和铂四种衬底，研究在不同衬底上制备的非晶硅薄膜的光学特性。
本文採用PECVD法製備非晶硅薄膜，採用瞭氮化硅、氧化硅、單晶硅和鉑四種襯底，研究在不同襯底上製備的非晶硅薄膜的光學特性。
본문채용PECVD법제비비정규박막，채용료담화규、양화규、단정규화박사충츤저，연구재불동츤저상제비적비정규박막적광학특성。
