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SCIENCE & TECHNOLOGY INFORMATION
2012年
4期
69-70
,共2页
杨汇鑫%宋业生%胡龙京%杨伟兵
楊彙鑫%宋業生%鬍龍京%楊偉兵
양회흠%송업생%호룡경%양위병
碳化硅%应变传感器%微机电系统
碳化硅%應變傳感器%微機電繫統
탄화규%응변전감기%미궤전계통
本文给出来一种应用于油井井下恶劣环境下的SiC MEMS谐振应变传感器。该传感器是一个质量平衡双端音叉（BDETF）,由沉积在硅基板的3C-SiC薄膜制备而得。该器件在大气环境下,从室温到300℃以上均可振荡。对该器件施加10000g的冲击（垂直于器件表面）而无损失和谐振频率漂移。该传感器具有66Hz/με,这与目前的硅传感器相当。
本文給齣來一種應用于油井井下噁劣環境下的SiC MEMS諧振應變傳感器。該傳感器是一箇質量平衡雙耑音扠（BDETF）,由沉積在硅基闆的3C-SiC薄膜製備而得。該器件在大氣環境下,從室溫到300℃以上均可振盪。對該器件施加10000g的遲擊（垂直于器件錶麵）而無損失和諧振頻率漂移。該傳感器具有66Hz/με,這與目前的硅傳感器相噹。
본문급출래일충응용우유정정하악렬배경하적SiC MEMS해진응변전감기。해전감기시일개질량평형쌍단음차（BDETF）,유침적재규기판적3C-SiC박막제비이득。해기건재대기배경하,종실온도300℃이상균가진탕。대해기건시가10000g적충격（수직우기건표면）이무손실화해진빈솔표이。해전감기구유66Hz/με,저여목전적규전감기상당。
