材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2012年
24期
120-124
,共5页
谭心%李瑜庆%刘学杰%贾亦超
譚心%李瑜慶%劉學傑%賈亦超
담심%리유경%류학걸%가역초
第一性原理%Ti-Si-N%热力学性质
第一性原理%Ti-Si-N%熱力學性質
제일성원리%Ti-Si-N%열역학성질
采用基于密度泛函理论的平面波赝势方法,研究了具有置换型界面的Ti-Si-N的结构、弹性常数及热力学性质.在计算热力学性质时,先计算一组不同晶格常数下的Ti-Si-N的声子谱及相应的静态总能,由此得到不同晶格常数下的自由能；再由准谐近似及自由能极小判据得到自由能与温度的关系,进而计算热膨胀系数、定容摩尔热容及定压摩尔热容与温度的关系.计算结果说明制备Ti-Si-N及类似薄膜时,要选择合适的基底、温度等条件.
採用基于密度汎函理論的平麵波贗勢方法,研究瞭具有置換型界麵的Ti-Si-N的結構、彈性常數及熱力學性質.在計算熱力學性質時,先計算一組不同晶格常數下的Ti-Si-N的聲子譜及相應的靜態總能,由此得到不同晶格常數下的自由能；再由準諧近似及自由能極小判據得到自由能與溫度的關繫,進而計算熱膨脹繫數、定容摩爾熱容及定壓摩爾熱容與溫度的關繫.計算結果說明製備Ti-Si-N及類似薄膜時,要選擇閤適的基底、溫度等條件.
채용기우밀도범함이론적평면파안세방법,연구료구유치환형계면적Ti-Si-N적결구、탄성상수급열역학성질.재계산열역학성질시,선계산일조불동정격상수하적Ti-Si-N적성자보급상응적정태총능,유차득도불동정격상수하적자유능；재유준해근사급자유능겁소판거득도자유능여온도적관계,진이계산열팽창계수、정용마이열용급정압마이열용여온도적관계.계산결과설명제비Ti-Si-N급유사박막시,요선택합괄적기저、온도등조건.
