电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2012年
7期
32-35
,共4页
李克%郭立%毛朝斌%陈特超%李健志
李剋%郭立%毛朝斌%陳特超%李健誌
리극%곽립%모조빈%진특초%리건지
扩散%反应管压力自平衡%尾气控制
擴散%反應管壓力自平衡%尾氣控製
확산%반응관압력자평형%미기공제
Diffusion%Process tube pressure control system%Exhaust control
对晶体硅太阳能电池片生产用扩散炉反应管压力平衡系统的要求及原理进行了阐述,由于反应管内气流变化对扩散效果影响很大,本系统根据实际使用经验,对工艺管内压力进行检测,在外围尾气排放不稳定的条件下,对反应管内气体排放进行调节,从而控制管内压力,使管内流速均匀,达到好的扩散效果。
對晶體硅太暘能電池片生產用擴散爐反應管壓力平衡繫統的要求及原理進行瞭闡述,由于反應管內氣流變化對擴散效果影響很大,本繫統根據實際使用經驗,對工藝管內壓力進行檢測,在外圍尾氣排放不穩定的條件下,對反應管內氣體排放進行調節,從而控製管內壓力,使管內流速均勻,達到好的擴散效果。
대정체규태양능전지편생산용확산로반응관압력평형계통적요구급원리진행료천술,유우반응관내기류변화대확산효과영향흔대,본계통근거실제사용경험,대공예관내압력진행검측,재외위미기배방불은정적조건하,대반응관내기체배방진행조절,종이공제관내압력,사관내류속균균,체도호적확산효과。
The requirements and principle of the process tube pressure control system in diffusion furnace for crystalline silicon cell are introduced, because the flow changes in tube is very large to diffusion effect, according to the practical experience, The system tests the process tube pressure and regulates the exhaust under peripheral system instability, thereby control the pressure in the tube, the tube flow evenly, achieve good diffusion effect.
