全自动光刻版清洗机工艺原理与工作过程介绍
전자동광각판청세궤공예원리여공작과정개소
Introduction to the Process and the Operating of the Automatic Photomask Cleaning Equipment
  • 万方数据
    电子工业专用设备 전자공업전용설비
    EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
    2014年 2期 23-27,37 ,共6页

    宋文超%刘永进%王刚%张利军%侯为萍

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    介绍了常用的光刻版清洗工艺,并详细讲解了全自动光刻版清洗机的工作过程.同时,简单介绍了为提高光刻版清洗效果而设计的浸泡系统、药液供给与循环系统和温控系统.
    개소료상용적광각판청세공예,병상세강해료전자동광각판청세궤적공작과정.동시,간단개소료위제고광각판청세효과이설계적침포계통、약액공급여순배계통화온공계통.
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