电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2014年
2期
11-17,60
,共8页
陈勇辉%李志丹%孙刚%张俊
陳勇輝%李誌丹%孫剛%張俊
진용휘%리지단%손강%장준
光刻机%图形化蓝宝石衬底%发光二极管%氮化镓
光刻機%圖形化藍寶石襯底%髮光二極管%氮化鎵
광각궤%도형화람보석츤저%발광이겁관%담화가
图形化蓝宝石衬底(PSS)工艺在改善GaN晶体外延生长质量以及提升LED器件发光提取效率方面作用显著,并被LED行业大量采用.针对高亮度LED量产线大量采用二手投影光刻机制备PSS衬底所面临的焦深不足、垂向控制容易离焦,以及运动台拼接精度不足等问题导致的PSS良率仅有70％～80％的现象,有针对性地在新研制的高亮度LED光刻机中采用最佳线宽/焦深选择技术、无缝拼接技术、Mapping垂向控制技术,使PSS的制造良率达到95％以上,极大地降低了PSS制造返工成本.同时,针对芯片细电极曝光需求,采用精密机器视觉对准技术,实现了芯片电极层1μm线宽下200 nm套刻精度.
圖形化藍寶石襯底(PSS)工藝在改善GaN晶體外延生長質量以及提升LED器件髮光提取效率方麵作用顯著,併被LED行業大量採用.針對高亮度LED量產線大量採用二手投影光刻機製備PSS襯底所麵臨的焦深不足、垂嚮控製容易離焦,以及運動檯拼接精度不足等問題導緻的PSS良率僅有70％～80％的現象,有針對性地在新研製的高亮度LED光刻機中採用最佳線寬/焦深選擇技術、無縫拼接技術、Mapping垂嚮控製技術,使PSS的製造良率達到95％以上,極大地降低瞭PSS製造返工成本.同時,針對芯片細電極曝光需求,採用精密機器視覺對準技術,實現瞭芯片電極層1μm線寬下200 nm套刻精度.
도형화람보석츤저(PSS)공예재개선GaN정체외연생장질량이급제승LED기건발광제취효솔방면작용현저,병피LED행업대량채용.침대고량도LED양산선대량채용이수투영광각궤제비PSS츤저소면림적초심불족、수향공제용역리초,이급운동태병접정도불족등문제도치적PSS량솔부유70％～80％적현상,유침대성지재신연제적고량도LED광각궤중채용최가선관/초심선택기술、무봉병접기술、Mapping수향공제기술,사PSS적제조량솔체도95％이상,겁대지강저료PSS제조반공성본.동시,침대심편세전겁폭광수구,채용정밀궤기시각대준기술,실현료심편전겁층1μm선관하200 nm투각정도.
