中山大学学报（自然科学版）
中山大學學報（自然科學版）
중산대학학보（자연과학판）
ACTA SCIENTIARUM NATURALIUM UNIVERSITATIS SUNYATSENI
2014年
3期
146-149
,共4页
3％ Co掺杂CeO2薄膜%溶胶-凝胶法%光学性质
3％ Co摻雜CeO2薄膜%溶膠-凝膠法%光學性質
3％ Co참잡CeO2박막%용효-응효법%광학성질
3％ Co doped CeO2 thin films%Sol-Gel method%optical properties
采用溶胶-凝胶法,在Si (100)衬底上制备了3％ Co掺杂CeO2薄膜,研究了不同热处理温度对Ce0.97Co0.03O2薄膜结构和光学性质的影响.X射线衍射(XRD)表明,3％ Co掺杂CeO2薄膜为多晶薄膜,且未破坏CeO2原有的结构,随着退火温度的升高,晶粒尺寸逐渐增大.椭偏光谱法研究表明,Ce0.97Co0.03O2薄膜的光学常数(折射率n、消光系数k)随着退火温度增加而增大,光学带隙Eg随退火温度增加而减小,这是薄膜结构随退火温度增加发生变化所致.
採用溶膠-凝膠法,在Si (100)襯底上製備瞭3％ Co摻雜CeO2薄膜,研究瞭不同熱處理溫度對Ce0.97Co0.03O2薄膜結構和光學性質的影響.X射線衍射(XRD)錶明,3％ Co摻雜CeO2薄膜為多晶薄膜,且未破壞CeO2原有的結構,隨著退火溫度的升高,晶粒呎吋逐漸增大.橢偏光譜法研究錶明,Ce0.97Co0.03O2薄膜的光學常數(摺射率n、消光繫數k)隨著退火溫度增加而增大,光學帶隙Eg隨退火溫度增加而減小,這是薄膜結構隨退火溫度增加髮生變化所緻.
채용용효-응효법,재Si (100)츤저상제비료3％ Co참잡CeO2박막,연구료불동열처리온도대Ce0.97Co0.03O2박막결구화광학성질적영향.X사선연사(XRD)표명,3％ Co참잡CeO2박막위다정박막,차미파배CeO2원유적결구,수착퇴화온도적승고,정립척촌축점증대.타편광보법연구표명,Ce0.97Co0.03O2박막적광학상수(절사솔n、소광계수k)수착퇴화온도증가이증대,광학대극Eg수퇴화온도증가이감소,저시박막결구수퇴화온도증가발생변화소치.
