电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
2014年
3期
215-221
,共7页
廖荣%张海燕%王道然%杨铁铮%范宇
廖榮%張海燕%王道然%楊鐵錚%範宇
료영%장해연%왕도연%양철쟁%범우
原子层沉积%氧化锌%XPS%AFM%无镉的铜铟镓硒太阳能电池
原子層沉積%氧化鋅%XPS%AFM%無鎘的銅銦鎵硒太暘能電池
원자층침적%양화자%XPS%AFM%무력적동인가서태양능전지
atomic layer deposition%zinc oxide%XPS%AFM%Cd-free CIGS solar cell
应用溅射后硒化法和原子层沉积法分别制备了无镉的铜铟镓硒电池关键膜层CIGS光吸收薄膜和ZnO缓冲层,着重对该两膜层进行XPS和AFM表面分析,得到比较理想的制备工艺条件,并结合其它检测方法:SEM、XRD及吸收光谱等,证明采用操作简便、成本低廉的该工艺能制备出无镉的铜铟镓硒电池.通过Ⅰ-Ⅴ测试结果,该电池有一定的光电转换效率.
應用濺射後硒化法和原子層沉積法分彆製備瞭無鎘的銅銦鎵硒電池關鍵膜層CIGS光吸收薄膜和ZnO緩遲層,著重對該兩膜層進行XPS和AFM錶麵分析,得到比較理想的製備工藝條件,併結閤其它檢測方法:SEM、XRD及吸收光譜等,證明採用操作簡便、成本低廉的該工藝能製備齣無鎘的銅銦鎵硒電池.通過Ⅰ-Ⅴ測試結果,該電池有一定的光電轉換效率.
응용천사후서화법화원자층침적법분별제비료무력적동인가서전지관건막층CIGS광흡수박막화ZnO완충층,착중대해량막층진행XPS화AFM표면분석,득도비교이상적제비공예조건,병결합기타검측방법:SEM、XRD급흡수광보등,증명채용조작간편、성본저렴적해공예능제비출무력적동인가서전지.통과Ⅰ-Ⅴ측시결과,해전지유일정적광전전환효솔.
