湖南有色金属
湖南有色金屬
호남유색금속
HUNAN NONFERROUS METALS
2014年
2期
65-68
,共4页
气相色谱-质谱(GC-MS)%甲基二氯硅烷%三氯氢硅
氣相色譜-質譜(GC-MS)%甲基二氯硅烷%三氯氫硅
기상색보-질보(GC-MS)%갑기이록규완%삼록경규
采用气相色谱-质谱(GC-MS)联用技术,以1,2-二氯乙烷为内标,用内标法对三氯氢硅(SiH3Cl)中的含碳杂质甲基二氯硅烷快速分离并进行了分析测定方法研究.实验结果表明,甲基二氯硅烷含量在0.1～100μg/mL范围内有良好的线性关系,相关系数r大于0.999 9.该方法重现性好,可用于多晶硅生产用三氯氢硅中含碳杂质甲基二氯硅烷的分析测定.
採用氣相色譜-質譜(GC-MS)聯用技術,以1,2-二氯乙烷為內標,用內標法對三氯氫硅(SiH3Cl)中的含碳雜質甲基二氯硅烷快速分離併進行瞭分析測定方法研究.實驗結果錶明,甲基二氯硅烷含量在0.1～100μg/mL範圍內有良好的線性關繫,相關繫數r大于0.999 9.該方法重現性好,可用于多晶硅生產用三氯氫硅中含碳雜質甲基二氯硅烷的分析測定.
채용기상색보-질보(GC-MS)련용기술,이1,2-이록을완위내표,용내표법대삼록경규(SiH3Cl)중적함탄잡질갑기이록규완쾌속분리병진행료분석측정방법연구.실험결과표명,갑기이록규완함량재0.1～100μg/mL범위내유량호적선성관계,상관계수r대우0.999 9.해방법중현성호,가용우다정규생산용삼록경규중함탄잡질갑기이록규완적분석측정.
