电力电子技术
電力電子技術
전력전자기술
POWER ELECTRONICS
2013年
10期
87-89
,共3页
卢其威%刘扬%王肃珂%吴玉肖
盧其威%劉颺%王肅珂%吳玉肖
로기위%류양%왕숙가%오옥초
镀膜电源%溅射%移相全桥
鍍膜電源%濺射%移相全橋
도막전원%천사%이상전교
coating power supply%sputtering%phase-shifted full-bridge
正弦波中频电源广泛应用于溅射镀膜领域.设计了一种以IGBT为功率器件的10 kW 40 kHz正弦波镀膜电源,主电路采用移相全桥电路进行电压调整,输出电路采用LCLC四阶滤波电路.详细分析设计了主电路以及控制电路,并依据理论分析结果采用PSIM进行了电路仿真和样机实验,验证了理论分析的正确性.实验结果证明,正弦波电源输出工作在40kHz,具有负载调节范围宽、效率高的特点.
正絃波中頻電源廣汎應用于濺射鍍膜領域.設計瞭一種以IGBT為功率器件的10 kW 40 kHz正絃波鍍膜電源,主電路採用移相全橋電路進行電壓調整,輸齣電路採用LCLC四階濾波電路.詳細分析設計瞭主電路以及控製電路,併依據理論分析結果採用PSIM進行瞭電路倣真和樣機實驗,驗證瞭理論分析的正確性.實驗結果證明,正絃波電源輸齣工作在40kHz,具有負載調節範圍寬、效率高的特點.
정현파중빈전원엄범응용우천사도막영역.설계료일충이IGBT위공솔기건적10 kW 40 kHz정현파도막전원,주전로채용이상전교전로진행전압조정,수출전로채용LCLC사계려파전로.상세분석설계료주전로이급공제전로,병의거이론분석결과채용PSIM진행료전로방진화양궤실험,험증료이론분석적정학성.실험결과증명,정현파전원수출공작재40kHz,구유부재조절범위관、효솔고적특점.
