电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2012年
8期
40-43
,共4页
曝光光源%ZEMAX软件%计算机辅助设计%鬼点
曝光光源%ZEMAX軟件%計算機輔助設計%鬼點
폭광광원%ZEMAX연건%계산궤보조설계%귀점
Exposure Light Source%ZEMAX%Computer Aided Design%Ghost Focus
以光学设计软件ZEMAX为依托,结合曝光光源设计思路,并以实例展示设计方法和描述它的实用性,利用ZEMAX计算机辅助设计分析了曝光光源的鬼点。
以光學設計軟件ZEMAX為依託,結閤曝光光源設計思路,併以實例展示設計方法和描述它的實用性,利用ZEMAX計算機輔助設計分析瞭曝光光源的鬼點。
이광학설계연건ZEMAX위의탁,결합폭광광원설계사로,병이실례전시설계방법화묘술타적실용성,이용ZEMAX계산궤보조설계분석료폭광광원적귀점。
This paper based on the optical design software ZEMAX, combined with the exposure light source design ideas, illustrates the exposure light source design method and describes its practicability by examples. And this paper making use of ZEMAX computer aided design analyzes ghost focus of the exposure light source.
