电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2012年
8期
1-3,30
,共4页
高文泉%李伟%徐存良%郭强生
高文泉%李偉%徐存良%郭彊生
고문천%리위%서존량%곽강생
抛光垫修整机构%修整力%气动控制系统
拋光墊脩整機構%脩整力%氣動控製繫統
포광점수정궤구%수정력%기동공제계통
Pad conditioner%Conditioning force%Pneumatic control system
介绍了一种新型抛光垫修整机构的功能、结构及运动原理,通过理论计算给出了修整力的计算公式,并介绍了一种原理简单,操作方便的气动控制系统。在工艺试验过程中,充分证明了其结构原理及控制系统的合理性,进而在理论和实践两个方面确定了该机构已达到设计要求。
介紹瞭一種新型拋光墊脩整機構的功能、結構及運動原理,通過理論計算給齣瞭脩整力的計算公式,併介紹瞭一種原理簡單,操作方便的氣動控製繫統。在工藝試驗過程中,充分證明瞭其結構原理及控製繫統的閤理性,進而在理論和實踐兩箇方麵確定瞭該機構已達到設計要求。
개소료일충신형포광점수정궤구적공능、결구급운동원리,통과이론계산급출료수정력적계산공식,병개소료일충원리간단,조작방편적기동공제계통。재공예시험과정중,충분증명료기결구원리급공제계통적합이성,진이재이론화실천량개방면학정료해궤구이체도설계요구。
It introduces the function, structure theory and movement theory of a new pad conditioner, it provides a calculational formula of conditioning force through theoretic calculation. It introduces a pneumatic control system with simple theory and convenient manipulation. During technical experiment, it proves rationality of structure theory and control system sufficiently. Consequently, it confirms that the structure has achieved design require basically from theorv and nractice.