中国科技论文
中國科技論文
중국과기논문
Sciencepaper Online
2013年
2期
128-131
,共4页
于佳音%崔新芳%练小正%乔英杰
于佳音%崔新芳%練小正%喬英傑
우가음%최신방%련소정%교영걸
陀螺仪%温度传感器%复合薄膜%氧化膜%磁控溅射
陀螺儀%溫度傳感器%複閤薄膜%氧化膜%磁控濺射
타라의%온도전감기%복합박막%양화막%자공천사
针对液浮陀螺仪悬浮液的应用环境,设计出Al/Al2O3/Cu测控温材料.采用阳极氧化的方法在草酸与冰乙酸组成的电解液中制备了阳极氧化膜绝缘层,并采用磁控溅射的方法制备了温度敏感层.利用扫描电镜、原子力显微镜和光学显微镜等研究了阳极氧化膜和铜膜的表面形貌,采用绝缘电阻测试仪测试阳极氧化膜的绝缘性能.结果表明,阳极氧化工艺对阳极氧化膜的绝缘性能以及热处理过程中的开裂行为都有一定影响.电流密度为1.0～1.5 A/dm2,冰乙酸浓度为0.1～0.3 mol/L,阳极氧化时间在30～60 min条件下制备的氧化膜绝缘性能和抗开裂性能满足Al/Al2O3/Cu绝缘层要求.以该氧化膜为衬底制备铜膜刻蚀后可得到连续的电阻条.
針對液浮陀螺儀懸浮液的應用環境,設計齣Al/Al2O3/Cu測控溫材料.採用暘極氧化的方法在草痠與冰乙痠組成的電解液中製備瞭暘極氧化膜絕緣層,併採用磁控濺射的方法製備瞭溫度敏感層.利用掃描電鏡、原子力顯微鏡和光學顯微鏡等研究瞭暘極氧化膜和銅膜的錶麵形貌,採用絕緣電阻測試儀測試暘極氧化膜的絕緣性能.結果錶明,暘極氧化工藝對暘極氧化膜的絕緣性能以及熱處理過程中的開裂行為都有一定影響.電流密度為1.0～1.5 A/dm2,冰乙痠濃度為0.1～0.3 mol/L,暘極氧化時間在30～60 min條件下製備的氧化膜絕緣性能和抗開裂性能滿足Al/Al2O3/Cu絕緣層要求.以該氧化膜為襯底製備銅膜刻蝕後可得到連續的電阻條.
침대액부타라의현부액적응용배경,설계출Al/Al2O3/Cu측공온재료.채용양겁양화적방법재초산여빙을산조성적전해액중제비료양겁양화막절연층,병채용자공천사적방법제비료온도민감층.이용소묘전경、원자력현미경화광학현미경등연구료양겁양화막화동막적표면형모,채용절연전조측시의측시양겁양화막적절연성능.결과표명,양겁양화공예대양겁양화막적절연성능이급열처리과정중적개렬행위도유일정영향.전류밀도위1.0～1.5 A/dm2,빙을산농도위0.1～0.3 mol/L,양겁양화시간재30～60 min조건하제비적양화막절연성능화항개렬성능만족Al/Al2O3/Cu절연층요구.이해양화막위츤저제비동막각식후가득도련속적전조조.
