CAJ | 학술논문

上个世纪五六十年代，在各行各业大量需要测量出流量参数的背景下，各种流量传感器不断涌现。这几十年来，微机电系统（MEMS）也取得了非常重要的发展，传统的流量传感器也需要有更加高的精度，更加的集成化，更好的可靠度，因此MEMS流量传感器成为了重要的研究对象。本文对MEMS流量传感器的发展历程，测量原理，分类发展等内容作了必要的介绍，也对一些常用的MEMS流量传感器的特点进行了描述。在文章的最后部分，还给出了MEMS流量传感器的三个主要发展阶段，并且对各阶段的特征给出了介绍，对未来的发展给出了展望。
상개세기오륙십년대，재각행각업대량수요측량출류량삼수적배경하，각충류량전감기불단용현。저궤십년래，미궤전계통（MEMS）야취득료비상중요적발전，전통적류량전감기야수요유경가고적정도，경가적집성화，경호적가고도，인차MEMS류량전감기성위료중요적연구대상。본문대MEMS류량전감기적발전역정，측량원리，분류발전등내용작료필요적개소，야대일사상용적MEMS류량전감기적특점진행료묘술。재문장적최후부분，환급출료MEMS류량전감기적삼개주요발전계단，병차대각계단적특정급출료개소，대미래적발전급출료전망。