商洛学院学报
商洛學院學報
상락학원학보
JOURNAL OF SHANGLUO UNIVERSITY
2014年
2期
40-44,52
,共6页
SrNb0.05Ti0.95O3薄膜%溶胶-凝胶法%半导体
SrNb0.05Ti0.95O3薄膜%溶膠-凝膠法%半導體
SrNb0.05Ti0.95O3박막%용효-응효법%반도체
以Sr(OOCCH3)2· H2O,Ti(OC4H9)4·Nb(C2H5O)5为原料,用溶胶-凝胶工艺成功地进行了SrNb0.05Ti0.95O3(SNTO)薄膜的制备,溶胶薄膜经过575℃-725℃/60min退火形成立方钙钛矿结构.用XRD、SEM等进行了结构和形貌表征,证明了该薄膜是纳米晶体结构,制定了SNTO薄膜的最佳退火工艺.SNTO薄膜的介电特性分析:掺杂Nb5+能使SrTiO3转化为n-半导体.
以Sr(OOCCH3)2· H2O,Ti(OC4H9)4·Nb(C2H5O)5為原料,用溶膠-凝膠工藝成功地進行瞭SrNb0.05Ti0.95O3(SNTO)薄膜的製備,溶膠薄膜經過575℃-725℃/60min退火形成立方鈣鈦礦結構.用XRD、SEM等進行瞭結構和形貌錶徵,證明瞭該薄膜是納米晶體結構,製定瞭SNTO薄膜的最佳退火工藝.SNTO薄膜的介電特性分析:摻雜Nb5+能使SrTiO3轉化為n-半導體.
이Sr(OOCCH3)2· H2O,Ti(OC4H9)4·Nb(C2H5O)5위원료,용용효-응효공예성공지진행료SrNb0.05Ti0.95O3(SNTO)박막적제비,용효박막경과575℃-725℃/60min퇴화형성립방개태광결구.용XRD、SEM등진행료결구화형모표정,증명료해박막시납미정체결구,제정료SNTO박막적최가퇴화공예.SNTO박막적개전특성분석:참잡Nb5+능사SrTiO3전화위n-반도체.
