CAJ | 학술논문

多晶硅还原炉在生产过程中经常会倒棒，严重影响着多晶硅的正常生产。多晶硅倒棒后对还原炉内壁、电极、基盘都会造成严重的损坏，会砸坏石墨夹头、隔热石英环等备件从而增加生产成本，同时高倒棒率会导致还原炉频繁开停炉，降低开炉成功率，增加劳动负荷，更为严重的是倒棒后的硅料会与无定型硅粉、石墨夹头掺杂在一起，降低产品的质量。
다정규환원로재생산과정중경상회도봉，엄중영향착다정규적정상생산。다정규도봉후대환원로내벽、전겁、기반도회조성엄중적손배，회잡배석묵협두、격열석영배등비건종이증가생산성본，동시고도봉솔회도치환원로빈번개정로，강저개로성공솔，증가노동부하，경위엄중적시도봉후적규료회여무정형규분、석묵협두참잡재일기，강저산품적질량。