中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2012年
23期
2839-2843
,共5页
魏晋鹏%黄强先%张昔峰%盛秀丽
魏晉鵬%黃彊先%張昔峰%盛秀麗
위진붕%황강선%장석봉%성수려
PVDF振动梁%钨探针%定位控制%扫描探针显微镜
PVDF振動樑%鎢探針%定位控製%掃描探針顯微鏡
PVDF진동량%오탐침%정위공제%소묘탐침현미경
采用聚偏氟乙烯(PVDF)压电薄膜和压电陶瓷(PZT),并结合由电化学研磨得到的钨探针,研制了一种具有对称结构的新型轻敲模式扫描测头.在该测头中,PVDF压电薄膜作为振动梁,其下方中间位置固定有钨探针,在PZT的驱动下,PVDF和探针处于谐振振动状态,同时,PVDF作为微力传感器检测探针顶端原子与试样表面原子间的作用力.所构建测头结合三维纳米定位台、控制程序等构成了新型扫描探针显微镜系统.介绍了测头的构成、工作原理、特性以及SPM系统的整体结构、测量原理、三维工作台的定位控制、信号处理过程和整系统特性测试,并以一维标准光栅为试样进行三维图像扫描,证明了该新型扫描探针显微镜系统的可行性和有效性.
採用聚偏氟乙烯(PVDF)壓電薄膜和壓電陶瓷(PZT),併結閤由電化學研磨得到的鎢探針,研製瞭一種具有對稱結構的新型輕敲模式掃描測頭.在該測頭中,PVDF壓電薄膜作為振動樑,其下方中間位置固定有鎢探針,在PZT的驅動下,PVDF和探針處于諧振振動狀態,同時,PVDF作為微力傳感器檢測探針頂耑原子與試樣錶麵原子間的作用力.所構建測頭結閤三維納米定位檯、控製程序等構成瞭新型掃描探針顯微鏡繫統.介紹瞭測頭的構成、工作原理、特性以及SPM繫統的整體結構、測量原理、三維工作檯的定位控製、信號處理過程和整繫統特性測試,併以一維標準光柵為試樣進行三維圖像掃描,證明瞭該新型掃描探針顯微鏡繫統的可行性和有效性.
채용취편불을희(PVDF)압전박막화압전도자(PZT),병결합유전화학연마득도적오탐침,연제료일충구유대칭결구적신형경고모식소묘측두.재해측두중,PVDF압전박막작위진동량,기하방중간위치고정유오탐침,재PZT적구동하,PVDF화탐침처우해진진동상태,동시,PVDF작위미력전감기검측탐침정단원자여시양표면원자간적작용력.소구건측두결합삼유납미정위태、공제정서등구성료신형소묘탐침현미경계통.개소료측두적구성、공작원리、특성이급SPM계통적정체결구、측량원리、삼유공작태적정위공제、신호처리과정화정계통특성측시,병이일유표준광책위시양진행삼유도상소묘,증명료해신형소묘탐침현미경계통적가행성화유효성.
