微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2013年
1期
143-147
,共5页
圆片级可靠性%集成电路制造%热载流子注入%电迁移
圓片級可靠性%集成電路製造%熱載流子註入%電遷移
원편급가고성%집성전로제조%열재류자주입%전천이
在集成电路制造厂的工艺监控体系中引入可靠性监控对于控制产品的可靠性十分重要.圆片级可靠性测试技术通过对集成电路产品的工艺过程进行可靠性检测,能够为集成电路制造工艺提供及时的可靠性信息反馈.圆片级可靠性测试通常是采用高加速应力对各种可靠性测试结构进行测试,以实现快速的工艺可靠性评价.对半导体集成电路圆片级可靠性测试的背景、现状和发展趋势进行了概况和探讨,介绍了目前在VLSI生产中应用最为广泛的栅氧化层经时击穿、电迁移和热载流子注入效应的可靠性测试结构.
在集成電路製造廠的工藝鑑控體繫中引入可靠性鑑控對于控製產品的可靠性十分重要.圓片級可靠性測試技術通過對集成電路產品的工藝過程進行可靠性檢測,能夠為集成電路製造工藝提供及時的可靠性信息反饋.圓片級可靠性測試通常是採用高加速應力對各種可靠性測試結構進行測試,以實現快速的工藝可靠性評價.對半導體集成電路圓片級可靠性測試的揹景、現狀和髮展趨勢進行瞭概況和探討,介紹瞭目前在VLSI生產中應用最為廣汎的柵氧化層經時擊穿、電遷移和熱載流子註入效應的可靠性測試結構.
재집성전로제조엄적공예감공체계중인입가고성감공대우공제산품적가고성십분중요.원편급가고성측시기술통과대집성전로산품적공예과정진행가고성검측,능구위집성전로제조공예제공급시적가고성신식반궤.원편급가고성측시통상시채용고가속응력대각충가고성측시결구진행측시,이실현쾌속적공예가고성평개.대반도체집성전로원편급가고성측시적배경、현상화발전추세진행료개황화탐토,개소료목전재VLSI생산중응용최위엄범적책양화층경시격천、전천이화열재류자주입효응적가고성측시결구.
