太阳能
太暘能
태양능
SOLAR ENERGY
2013年
1期
18-21
,共4页
硅薄膜%超高浓度钛掺杂%热丝化学气相沉积
硅薄膜%超高濃度鈦摻雜%熱絲化學氣相沉積
규박막%초고농도태참잡%열사화학기상침적
将磁控溅射和热丝化学气相沉积相结合,制备出超高浓度钛掺杂的氢化非晶硅薄膜.通过光发射谱(OES)分析了热丝加热前后直流溅射辉光特性,结果表明热丝加热与否对直流溅射过程的影响不大.俄歇电子能谱显示钛在薄膜中是均匀分布的,改变磁控溅射的功率可控制薄膜中钛的含量,薄膜在可见和红外光的吸收随钛浓度的增加而显著增强.掺钛非晶硅薄膜仍表现出半导体特性,电阻率随着温度的降低而提高,满足变程跳跃电导输运机制.采用激光熔融(PLM)对薄膜进行退火,薄膜晶化率达50％以上.晶化的掺钛硅薄膜仍保持较高的可见-红外波段的光吸收.
將磁控濺射和熱絲化學氣相沉積相結閤,製備齣超高濃度鈦摻雜的氫化非晶硅薄膜.通過光髮射譜(OES)分析瞭熱絲加熱前後直流濺射輝光特性,結果錶明熱絲加熱與否對直流濺射過程的影響不大.俄歇電子能譜顯示鈦在薄膜中是均勻分佈的,改變磁控濺射的功率可控製薄膜中鈦的含量,薄膜在可見和紅外光的吸收隨鈦濃度的增加而顯著增彊.摻鈦非晶硅薄膜仍錶現齣半導體特性,電阻率隨著溫度的降低而提高,滿足變程跳躍電導輸運機製.採用激光鎔融(PLM)對薄膜進行退火,薄膜晶化率達50％以上.晶化的摻鈦硅薄膜仍保持較高的可見-紅外波段的光吸收.
장자공천사화열사화학기상침적상결합,제비출초고농도태참잡적경화비정규박막.통과광발사보(OES)분석료열사가열전후직류천사휘광특성,결과표명열사가열여부대직류천사과정적영향불대.아헐전자능보현시태재박막중시균균분포적,개변자공천사적공솔가공제박막중태적함량,박막재가견화홍외광적흡수수태농도적증가이현저증강.참태비정규박막잉표현출반도체특성,전조솔수착온도적강저이제고,만족변정도약전도수운궤제.채용격광용융(PLM)대박막진행퇴화,박막정화솔체50％이상.정화적참태규박막잉보지교고적가견-홍외파단적광흡수.
