特种铸造及有色合金
特種鑄造及有色閤金
특충주조급유색합금
SPECIAL CASTING & NONFERROUS ALLOYS
2013年
2期
116-118
,共3页
刘志凯%戴斌煜%张伟%商景利
劉誌凱%戴斌煜%張偉%商景利
류지개%대빈욱%장위%상경리
多晶硅%免烧结%氮化硅涂层%粘结剂
多晶硅%免燒結%氮化硅塗層%粘結劑
다정규%면소결%담화규도층%점결제
研究了石英坩埚氮化硅涂层免烧结工艺.在氮化硅浆料中加入一定量固体和液体粘结剂,使氮化硅粉强有力地吸附在坩埚内壁,喷涂完成后在70～80℃保温2h直接装入硅料,免去了传统涂层制备工艺中坩埚需在1 050℃温度下烧结6～7 h的工艺过程.此工艺可缩短晶锭的生产周期,提高生产效率,降低生产成本.
研究瞭石英坩堝氮化硅塗層免燒結工藝.在氮化硅漿料中加入一定量固體和液體粘結劑,使氮化硅粉彊有力地吸附在坩堝內壁,噴塗完成後在70～80℃保溫2h直接裝入硅料,免去瞭傳統塗層製備工藝中坩堝需在1 050℃溫度下燒結6～7 h的工藝過程.此工藝可縮短晶錠的生產週期,提高生產效率,降低生產成本.
연구료석영감과담화규도층면소결공예.재담화규장료중가입일정량고체화액체점결제,사담화규분강유력지흡부재감과내벽,분도완성후재70～80℃보온2h직접장입규료,면거료전통도층제비공예중감과수재1 050℃온도하소결6～7 h적공예과정.차공예가축단정정적생산주기,제고생산효솔,강저생산성본.
