电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2013年
9期
1-4,38
,共5页
数值模拟%Si1-xGex单晶%热屏%氩气流场
數值模擬%Si1-xGex單晶%熱屏%氬氣流場
수치모의%Si1-xGex단정%열병%아기류장
阐述了对原GaAs单晶拉制用LEC单晶炉热系统进行改造使其适于Si1-xGex单晶生长的过程.借助数值模拟的方法分析了晶体生长区域内的温度分布情况,并通过分析发现了原有热系统的不足.重新对原热系统进行了改造,添加了起到保温和氩气导流作用的热屏和上保温装置,使原来的敞开式热场变为密闭式热场,满足了Si1-xGex单晶拉制的要求.通过具体实验和数值模拟结合,分析了氩气流场及不同流场对晶体生长的影响,发现并改进了单晶炉的氩气供给装置存在的问题.
闡述瞭對原GaAs單晶拉製用LEC單晶爐熱繫統進行改造使其適于Si1-xGex單晶生長的過程.藉助數值模擬的方法分析瞭晶體生長區域內的溫度分佈情況,併通過分析髮現瞭原有熱繫統的不足.重新對原熱繫統進行瞭改造,添加瞭起到保溫和氬氣導流作用的熱屏和上保溫裝置,使原來的敞開式熱場變為密閉式熱場,滿足瞭Si1-xGex單晶拉製的要求.通過具體實驗和數值模擬結閤,分析瞭氬氣流場及不同流場對晶體生長的影響,髮現併改進瞭單晶爐的氬氣供給裝置存在的問題.
천술료대원GaAs단정랍제용LEC단정로열계통진행개조사기괄우Si1-xGex단정생장적과정.차조수치모의적방법분석료정체생장구역내적온도분포정황,병통과분석발현료원유열계통적불족.중신대원열계통진행료개조,첨가료기도보온화아기도류작용적열병화상보온장치,사원래적창개식열장변위밀폐식열장,만족료Si1-xGex단정랍제적요구.통과구체실험화수치모의결합,분석료아기류장급불동류장대정체생장적영향,발현병개진료단정로적아기공급장치존재적문제.
