CAJ | 학술논문

在InP阵列波导光栅的制作过程中会引入不同的误差,从而影响器件的性能.为了最大限度地控制误差,提高半导体器件性能,本文采用传输函数法对InP基阵列波导光栅的系统误差和随机误差分别进行了分析.从系统误差的模拟结果中可以得到如下结论:深脊型波导的有效折射率nc平均每偏移+0.000 1,中心波长偏移+0.05nm.相邻阵列波导长度差△L每偏移+0.01 μm,中心波长将偏移+0.44 nm.nc和△L仅仅会影响到传输谱中心通道及其他各通道对应的波长,使得传输谱发生整体漂移,而信道间隔及串扰不会改变.罗兰圆半径R偏移不会影响器件的中心通道对应的波长,但会使其它通道对应的波长发生变化,最终使得信道间隔改变,R增加50 μm,信道间隔减小0.03 nm.从随机误差模拟结果中,得出:波导芯区折射率、上包层折射率、衬底折射率、波导宽度和波导芯层厚度的随机波动会对阵列波导光栅的串扰产生较大的影响.根据以上分析,可以通过控制不同参量来调节器件的中心波长以及信道间隔等来优化阵列波导光栅的光学性能.
재InP진렬파도광책적제작과정중회인입불동적오차,종이영향기건적성능.위료최대한도지공제오차,제고반도체기건성능,본문채용전수함수법대InP기진렬파도광책적계통오차화수궤오차분별진행료분석.종계통오차적모의결과중가이득도여하결론:심척형파도적유효절사솔nc평균매편이+0.000 1,중심파장편이+0.05nm.상린진렬파도장도차△L매편이+0.01 μm,중심파장장편이+0.44 nm.nc화△L부부회영향도전수보중심통도급기타각통도대응적파장,사득전수보발생정체표이,이신도간격급천우불회개변.라란원반경R편이불회영향기건적중심통도대응적파장,단회사기타통도대응적파장발생변화,최종사득신도간격개변,R증가50 μm,신도간격감소0.03 nm.종수궤오차모의결과중,득출:파도심구절사솔、상포층절사솔、츤저절사솔、파도관도화파도심층후도적수궤파동회대진렬파도광책적천우산생교대적영향.근거이상분석,가이통과공제불동삼량래조절기건적중심파장이급신도간격등래우화진렬파도광책적광학성능.