光谱学与光谱分析
光譜學與光譜分析
광보학여광보분석
SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS
2013年
8期
2223-2226
,共4页
彭松%刘志国%孙天希%李玉德%刘鹤贺%赵为刚%赵广翠%林晓燕%罗萍
彭鬆%劉誌國%孫天希%李玉德%劉鶴賀%趙為剛%趙廣翠%林曉燕%囉萍
팽송%류지국%손천희%리옥덕%류학하%조위강%조엄취%림효연%라평
X射线光学%共聚焦测厚%毛细管X光透镜%X射线荧光
X射線光學%共聚焦測厚%毛細管X光透鏡%X射線熒光
X사선광학%공취초측후%모세관X광투경%X사선형광
X-ray optics%Confocal technology for measuring thickness%Polycapillary X-ray lens%X-ray fluorescence
为了实现对薄膜和镀层材料厚度的微区无损分析,利用多毛细管X光会聚透镜和多毛细管X光平行束透镜设计并搭建了普通实验室X射线光源的共聚焦微束X射线荧光测厚仪,对该共聚焦测厚仪的性能进行了系统表征.利用该测厚仪测定了厚度约为25 μm的Ni独立薄膜样品和压于硅基表面厚度约为15 μm的Ni薄膜样品厚度,对应它们的相对测量误差分别为3.7％和6.7％.另外,还对厚度约为10 μm Ni薄膜样品的厚度均匀性进行了测量.该共聚焦测厚仪可以对样品进行微区深度分析,并且具有元素分辨能力,从而使得该谱仪可以测量多层膜样品不同层的膜厚,在薄膜和镀层厚度表征领域具有潜在的应用.
為瞭實現對薄膜和鍍層材料厚度的微區無損分析,利用多毛細管X光會聚透鏡和多毛細管X光平行束透鏡設計併搭建瞭普通實驗室X射線光源的共聚焦微束X射線熒光測厚儀,對該共聚焦測厚儀的性能進行瞭繫統錶徵.利用該測厚儀測定瞭厚度約為25 μm的Ni獨立薄膜樣品和壓于硅基錶麵厚度約為15 μm的Ni薄膜樣品厚度,對應它們的相對測量誤差分彆為3.7％和6.7％.另外,還對厚度約為10 μm Ni薄膜樣品的厚度均勻性進行瞭測量.該共聚焦測厚儀可以對樣品進行微區深度分析,併且具有元素分辨能力,從而使得該譜儀可以測量多層膜樣品不同層的膜厚,在薄膜和鍍層厚度錶徵領域具有潛在的應用.
위료실현대박막화도층재료후도적미구무손분석,이용다모세관X광회취투경화다모세관X광평행속투경설계병탑건료보통실험실X사선광원적공취초미속X사선형광측후의,대해공취초측후의적성능진행료계통표정.이용해측후의측정료후도약위25 μm적Ni독립박막양품화압우규기표면후도약위15 μm적Ni박막양품후도,대응타문적상대측량오차분별위3.7％화6.7％.령외,환대후도약위10 μm Ni박막양품적후도균균성진행료측량.해공취초측후의가이대양품진행미구심도분석,병차구유원소분변능력,종이사득해보의가이측량다층막양품불동층적막후,재박막화도층후도표정영역구유잠재적응용.
