CAJ | 학술논문

由于在日盲紫外探测方面的应用前景,具有合适带隙的MgZnO合金半导体薄膜受到越来越多的关注.获得具有择优取向的单一相MgZnO对提升MgZnO基日盲紫外探测器性能至关重要.本文利用低压金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)方法在m面蓝宝石衬底上制备了一系列不同组分的MgZn1-xO薄膜.光学和结构特性测试结果表明:Zn摩尔分数达到55％的Mg0.45Zn0.55O薄膜依然是单一立方相,其光学带隙可以达到4.7 eV.立方岩盐结构MgZnO与m面蓝宝石衬底的外延结构关系为(110)MgZnO‖(1010)-sapphire、[001]MgZnO||[1210]sappire和[110]-MgZnO|| [0001]sapphire.唯一确定的面内取向有利于薄膜晶体质量的提高.基于(110)取向立方相Mg0.45Zn0.55O薄膜制备金属-半导体-金属(MSM)结构器件,获得了光响应峰在260 nm、光响应截止波长278 nm的日盲紫外探测器.
유우재일맹자외탐측방면적응용전경,구유합괄대극적MgZnO합금반도체박막수도월래월다적관주.획득구유택우취향적단일상MgZnO대제승MgZnO기일맹자외탐측기성능지관중요.본문이용저압금속유궤화학기상침적(LP-MOCVD)방법재m면람보석츤저상제비료일계렬불동조분적MgZn1-xO박막.광학화결구특성측시결과표명:Zn마이분수체도55％적Mg0.45Zn0.55O박막의연시단일립방상,기광학대극가이체도4.7 eV.립방암염결구MgZnO여m면람보석츤저적외연결구관계위(110)MgZnO‖(1010)-sapphire、[001]MgZnO||[1210]sappire화[110]-MgZnO|| [0001]sapphire.유일학정적면내취향유리우박막정체질량적제고.기우(110)취향립방상Mg0.45Zn0.55O박막제비금속-반도체-금속(MSM)결구기건,획득료광향응봉재260 nm、광향응절지파장278 nm적일맹자외탐측기.