计量技术
計量技術
계량기술
MEASUREMENT TECHNIQUE
2014年
9期
15-18
,共4页
王金库%于红燕%葛楚鑫
王金庫%于紅燕%葛楚鑫
왕금고%우홍연%갈초흠
微小流导%定容法%定压法%线性规法
微小流導%定容法%定壓法%線性規法
미소류도%정용법%정압법%선성규법
介绍了一套微小流导测量系统，它集成了定容法、定压法和线性规方法。各种方法可以满足不同量限的测量需求，可在原位进行测量，互相验证准确性。该系统能够测量流导前的压力在0．1Pa到1×105 Pa时所对应的流导值，可用于研究流导值与流导前压力的特性关系。
介紹瞭一套微小流導測量繫統，它集成瞭定容法、定壓法和線性規方法。各種方法可以滿足不同量限的測量需求，可在原位進行測量，互相驗證準確性。該繫統能夠測量流導前的壓力在0．1Pa到1×105 Pa時所對應的流導值，可用于研究流導值與流導前壓力的特性關繫。
개소료일투미소류도측량계통，타집성료정용법、정압법화선성규방법。각충방법가이만족불동량한적측량수구，가재원위진행측량，호상험증준학성。해계통능구측량류도전적압력재0．1Pa도1×105 Pa시소대응적류도치，가용우연구류도치여류도전압력적특성관계。
