强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2013年
11期
2900-2904
,共5页
贺海东%郝敬宾%赵恩兰%杨海峰%唐玮%朱华%钱济国
賀海東%郝敬賓%趙恩蘭%楊海峰%唐瑋%硃華%錢濟國
하해동%학경빈%조은란%양해봉%당위%주화%전제국
双光束干涉%双尺度%表面织构%激光光刻
雙光束榦涉%雙呎度%錶麵織構%激光光刻
쌍광속간섭%쌍척도%표면직구%격광광각
two-beams interference%two-scale texture%surface texture%laser lithography
搭建了双光束激光干涉光刻系统和激光快速扫描系统.利用干涉光刻系统,实现了不同周期、不同深度、大面积的表面规则光栅织构的构筑.利用激光快速扫描器的二维扫描功能,通过控制激光功率和扫描速度,对曝光量和填充线条间距进行了优化.提出了两种双尺度复合织构的制备方法:一种是在激光快速扫描系统中对抗蚀剂表面分别进行z,y方向的扫描光刻,然后在干涉光刻系统中进行双光束干涉光刻;另一种是在激光干涉光刻系统中进行两次曝光,每次曝光的入射角不同.实验结果表明:这两种方法在制备双尺度复合织构方面具有快速、廉价、操作简易等优点.
搭建瞭雙光束激光榦涉光刻繫統和激光快速掃描繫統.利用榦涉光刻繫統,實現瞭不同週期、不同深度、大麵積的錶麵規則光柵織構的構築.利用激光快速掃描器的二維掃描功能,通過控製激光功率和掃描速度,對曝光量和填充線條間距進行瞭優化.提齣瞭兩種雙呎度複閤織構的製備方法:一種是在激光快速掃描繫統中對抗蝕劑錶麵分彆進行z,y方嚮的掃描光刻,然後在榦涉光刻繫統中進行雙光束榦涉光刻;另一種是在激光榦涉光刻繫統中進行兩次曝光,每次曝光的入射角不同.實驗結果錶明:這兩種方法在製備雙呎度複閤織構方麵具有快速、廉價、操作簡易等優點.
탑건료쌍광속격광간섭광각계통화격광쾌속소묘계통.이용간섭광각계통,실현료불동주기、불동심도、대면적적표면규칙광책직구적구축.이용격광쾌속소묘기적이유소묘공능,통과공제격광공솔화소묘속도,대폭광량화전충선조간거진행료우화.제출료량충쌍척도복합직구적제비방법:일충시재격광쾌속소묘계통중대항식제표면분별진행z,y방향적소묘광각,연후재간섭광각계통중진행쌍광속간섭광각;령일충시재격광간섭광각계통중진행량차폭광,매차폭광적입사각불동.실험결과표명:저량충방법재제비쌍척도복합직구방면구유쾌속、렴개、조작간역등우점.
