强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2013年
11期
3060-3064
,共5页
赵家敏%游利兵%余吟山%方晓东
趙傢敏%遊利兵%餘吟山%方曉東
조가민%유리병%여음산%방효동
准分子激光器%激光退火%大能量%磁脉冲压缩
準分子激光器%激光退火%大能量%磁脈遲壓縮
준분자격광기%격광퇴화%대능량%자맥충압축
excimer laser%excimer laser annealing%large energy%magnetic pulse compression
研制了一台KrF大能量准分子激光器,激光器采用紧凑型Chang电极与紫外火花预电离的结合,实现了激活区大面积的均匀辉光放电,利用LC反转倍压以及一级磁脉冲压缩技术在放电电容上实现了峰值电压40 kV、脉冲上升时间约为100 ns的高压快脉冲激励.研究了工作气体含量对激光器能量输出的影响,在总气压3.3×105 Pa,F2/He,Kr,Ne体积分数比值为1.97∶3.18∶94.85,充电电压27 kV时,得到了738mJ的单脉冲能量输出,激光近场光斑30 mm×14 mm,在充电电压23 kV时,全电效率最高,达到2.0％.
研製瞭一檯KrF大能量準分子激光器,激光器採用緊湊型Chang電極與紫外火花預電離的結閤,實現瞭激活區大麵積的均勻輝光放電,利用LC反轉倍壓以及一級磁脈遲壓縮技術在放電電容上實現瞭峰值電壓40 kV、脈遲上升時間約為100 ns的高壓快脈遲激勵.研究瞭工作氣體含量對激光器能量輸齣的影響,在總氣壓3.3×105 Pa,F2/He,Kr,Ne體積分數比值為1.97∶3.18∶94.85,充電電壓27 kV時,得到瞭738mJ的單脈遲能量輸齣,激光近場光斑30 mm×14 mm,在充電電壓23 kV時,全電效率最高,達到2.0％.
연제료일태KrF대능량준분자격광기,격광기채용긴주형Chang전겁여자외화화예전리적결합,실현료격활구대면적적균균휘광방전,이용LC반전배압이급일급자맥충압축기술재방전전용상실현료봉치전압40 kV、맥충상승시간약위100 ns적고압쾌맥충격려.연구료공작기체함량대격광기능량수출적영향,재총기압3.3×105 Pa,F2/He,Kr,Ne체적분수비치위1.97∶3.18∶94.85,충전전압27 kV시,득도료738mJ적단맥충능량수출,격광근장광반30 mm×14 mm,재충전전압23 kV시,전전효솔최고,체도2.0％.
