Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜的耐压特性研究
Ba0.6Sr0.4TiO3박막적내압특성연구
Study on Voltage-Withstand Property of Ba0.6Sr0.4TiO3 Thin Films
  • 万方数据
    压电与声光 압전여성광
    PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
    2013年 1期 112-115 ,共4页

    朱斌%张洪波%王文君%李司中%赵强%陈宏伟%杨传仁%张继华

    주빈%장홍파%왕문군%리사중%조강%진굉위%양전인%장계화

    Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜%铁电%耐压%集成电容 Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜%鐵電%耐壓%集成電容
    Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)박막%철전%내압%집성전용
    采用射频磁控溅射法制备了Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,研究了基片、退火温度及膜厚对薄膜耐压特性的影响.结果显示,铝酸镧(LaAlO3)基片上制备的BST薄膜表面较平整,有较好的耐压;随着退火温度从750℃提高到850℃,BST薄膜晶粒长大,电击穿概率有所增加,750℃是一个较合理的退火温度.在优化的工艺条件下,BST薄膜耐压可达125 V/μm.
    채용사빈자공천사법제비료Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)박막,연구료기편、퇴화온도급막후대박막내압특성적영향.결과현시,려산란(LaAlO3)기편상제비적BST박막표면교평정,유교호적내압;수착퇴화온도종750℃제고도850℃,BST박막정립장대,전격천개솔유소증가,750℃시일개교합리적퇴화온도.재우화적공예조건하,BST박막내압가체125 V/μm.
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