压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2013年
1期
66-69
,共4页
刘相果%胡东霞%冯小东%曾祥明
劉相果%鬍東霞%馮小東%曾祥明
류상과%호동하%풍소동%증상명
大尺寸厚膜压电陶瓷%流延工艺%变形镜%闭环控制
大呎吋厚膜壓電陶瓷%流延工藝%變形鏡%閉環控製
대척촌후막압전도자%류연공예%변형경%폐배공제
利用流延工艺制备大尺寸高性能压电陶瓷片(100 mm×100 mm×0.50 mm),在此基础上研究8×8阵列排布的厚膜压电陶瓷驱动连续变形镜的制备工艺技术,并对变形镜的理论拟合面形和实际闭环控制校正面形进行研究分析.结果表明,变形镜的初始面形的像差振幅为2.664λ,像差均方根振幅为0.557λ,而经闭环控制校正+手动微校正后后,获得较佳的镜面效果像差振幅为0.36λ,像差均方根振幅为0.095λ;闭环控制校正面形与理论拟合的面形(像差振幅为0.005λ,像差均方根振幅为0)存在一定差距,主要原因是变形镜制备工艺过程或驱动闭环控制系统存在一定的滞后性或试验误差造成的.
利用流延工藝製備大呎吋高性能壓電陶瓷片(100 mm×100 mm×0.50 mm),在此基礎上研究8×8陣列排佈的厚膜壓電陶瓷驅動連續變形鏡的製備工藝技術,併對變形鏡的理論擬閤麵形和實際閉環控製校正麵形進行研究分析.結果錶明,變形鏡的初始麵形的像差振幅為2.664λ,像差均方根振幅為0.557λ,而經閉環控製校正+手動微校正後後,穫得較佳的鏡麵效果像差振幅為0.36λ,像差均方根振幅為0.095λ;閉環控製校正麵形與理論擬閤的麵形(像差振幅為0.005λ,像差均方根振幅為0)存在一定差距,主要原因是變形鏡製備工藝過程或驅動閉環控製繫統存在一定的滯後性或試驗誤差造成的.
이용류연공예제비대척촌고성능압전도자편(100 mm×100 mm×0.50 mm),재차기출상연구8×8진렬배포적후막압전도자구동련속변형경적제비공예기술,병대변형경적이론의합면형화실제폐배공제교정면형진행연구분석.결과표명,변형경적초시면형적상차진폭위2.664λ,상차균방근진폭위0.557λ,이경폐배공제교정+수동미교정후후,획득교가적경면효과상차진폭위0.36λ,상차균방근진폭위0.095λ;폐배공제교정면형여이론의합적면형(상차진폭위0.005λ,상차균방근진폭위0)존재일정차거,주요원인시변형경제비공예과정혹구동폐배공제계통존재일정적체후성혹시험오차조성적.
