磁控溅射用CoCrPt系靶材制备技术研究进展
자공천사용CoCrPt계파재제비기술연구진전
Research Progress of CoCrPt System Targets Fabrication
  • 万方数据
    贵金属 귀금속
    PRECIOUS METALS
    2013年 1期 74-78 ,共5页

    陈松%耿永红%王传军%闻明%张俊敏%毕珺%李艳琼%谭志龙%张昆华

    진송%경영홍%왕전군%문명%장준민%필군%리염경%담지룡%장곤화

    金属材料%粉末冶金%CoCrPt%溅射靶材%熔铸法%质量控制 金屬材料%粉末冶金%CoCrPt%濺射靶材%鎔鑄法%質量控製
    금속재료%분말야금%CoCrPt%천사파재%용주법%질량공제
    目前在高密度磁记录薄膜中大量使用到CoCrPt系溅射靶材.重点介绍了CoCrPt系磁性靶材国内外发展现状,靶材制备中的主要工艺以及质量控制内容和方法,最后分析了存在的技术难点和需要解决的问题.
    목전재고밀도자기록박막중대량사용도CoCrPt계천사파재.중점개소료CoCrPt계자성파재국내외발전현상,파재제비중적주요공예이급질량공제내용화방법,최후분석료존재적기술난점화수요해결적문제.
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