机械设计与制造
機械設計與製造
궤계설계여제조
MACHINERY DESIGN & MANUFACTURE
2013年
3期
184-187
,共4页
孙义田%李学威%张一博%何书龙%张鹏
孫義田%李學威%張一博%何書龍%張鵬
손의전%리학위%장일박%하서룡%장붕
晶圆预对准%偏心%缺口%建模仿真
晶圓預對準%偏心%缺口%建模倣真
정원예대준%편심%결구%건모방진
为了对晶圆预对准过程进行建模及仿真,建立了晶圆边缘数据采集模型,其重点在于缺口模型的建立.首先采用分段函数法对晶圆边缘曲线进行建模,再根据几何关系分段建立晶圆边缘数据采集模型.最后,根据所采集到的晶圆边缘的数据分别采用不同算法计算出晶圆的偏心及缺口的方向.该模型不但建立了包括缺口在内的完整晶圆边缘模型,而且还考虑了转动中心偏置及CCD分辨率等的影响,利用此模型可以系统的对晶圆预对准过程进行深入的研究.
為瞭對晶圓預對準過程進行建模及倣真,建立瞭晶圓邊緣數據採集模型,其重點在于缺口模型的建立.首先採用分段函數法對晶圓邊緣麯線進行建模,再根據幾何關繫分段建立晶圓邊緣數據採集模型.最後,根據所採集到的晶圓邊緣的數據分彆採用不同算法計算齣晶圓的偏心及缺口的方嚮.該模型不但建立瞭包括缺口在內的完整晶圓邊緣模型,而且還攷慮瞭轉動中心偏置及CCD分辨率等的影響,利用此模型可以繫統的對晶圓預對準過程進行深入的研究.
위료대정원예대준과정진행건모급방진,건립료정원변연수거채집모형,기중점재우결구모형적건립.수선채용분단함수법대정원변연곡선진행건모,재근거궤하관계분단건립정원변연수거채집모형.최후,근거소채집도적정원변연적수거분별채용불동산법계산출정원적편심급결구적방향.해모형불단건립료포괄결구재내적완정정원변연모형,이차환고필료전동중심편치급CCD분변솔등적영향,이용차모형가이계통적대정원예대준과정진행심입적연구.
