机械设计与制造
機械設計與製造
궤계설계여제조
MACHINERY DESIGN & MANUFACTURE
2013年
3期
139-142
,共4页
徽电铸%纳秒脉冲电源%Proteus%数字电位器%C51单片机
徽電鑄%納秒脈遲電源%Proteus%數字電位器%C51單片機
휘전주%납초맥충전원%Proteus%수자전위기%C51단편궤
微细加工技术是MEMS器件加工工艺的关键环节,基于阴极生长成型的电沉积技术由于精度高,可控性强被广泛应用.微电铸是MEMS器件成型过程中的关键工艺步骤,脉冲电源是微电铸步骤中所使用的重要实验设备之一.传统的脉冲电源利用开关管斩波的方式,控制复杂且成本高,利用DDS芯片制作脉冲电源需要复杂的滤波环节.设计了一款脉冲波形为矩形,脉冲宽度在百纳秒级别的脉冲电源.选择ICL8038芯片作为高频脉冲发生器,利用AT89C51单片机控制数字电位器MAX5413来调节ICL8038芯片所产生的矩形脉冲波频率和占空比等参数,采用液晶显示屏来显示矩形脉冲波的频率和占空比参数的信息.并采用Proteus和Keil软件联调的方式,对电源电路进行了仿真设计.结果表明:波形纯净,脉冲陡峭,控制电路简单,无需复杂的滤波环节,成本较低,适用于微电铸加工.
微細加工技術是MEMS器件加工工藝的關鍵環節,基于陰極生長成型的電沉積技術由于精度高,可控性彊被廣汎應用.微電鑄是MEMS器件成型過程中的關鍵工藝步驟,脈遲電源是微電鑄步驟中所使用的重要實驗設備之一.傳統的脈遲電源利用開關管斬波的方式,控製複雜且成本高,利用DDS芯片製作脈遲電源需要複雜的濾波環節.設計瞭一款脈遲波形為矩形,脈遲寬度在百納秒級彆的脈遲電源.選擇ICL8038芯片作為高頻脈遲髮生器,利用AT89C51單片機控製數字電位器MAX5413來調節ICL8038芯片所產生的矩形脈遲波頻率和佔空比等參數,採用液晶顯示屏來顯示矩形脈遲波的頻率和佔空比參數的信息.併採用Proteus和Keil軟件聯調的方式,對電源電路進行瞭倣真設計.結果錶明:波形純淨,脈遲陡峭,控製電路簡單,無需複雜的濾波環節,成本較低,適用于微電鑄加工.
미세가공기술시MEMS기건가공공예적관건배절,기우음겁생장성형적전침적기술유우정도고,가공성강피엄범응용.미전주시MEMS기건성형과정중적관건공예보취,맥충전원시미전주보취중소사용적중요실험설비지일.전통적맥충전원이용개관관참파적방식,공제복잡차성본고,이용DDS심편제작맥충전원수요복잡적려파배절.설계료일관맥충파형위구형,맥충관도재백납초급별적맥충전원.선택ICL8038심편작위고빈맥충발생기,이용AT89C51단편궤공제수자전위기MAX5413래조절ICL8038심편소산생적구형맥충파빈솔화점공비등삼수,채용액정현시병래현시구형맥충파적빈솔화점공비삼수적신식.병채용Proteus화Keil연건련조적방식,대전원전로진행료방진설계.결과표명:파형순정,맥충두초,공제전로간단,무수복잡적려파배절,성본교저,괄용우미전주가공.
