材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2013年
4期
93-96
,共4页
王卫兵%刘平%李伟%马凤仓%刘新宽%何代华
王衛兵%劉平%李偉%馬鳳倉%劉新寬%何代華
왕위병%류평%리위%마봉창%류신관%하대화
CIGS%磁控溅射%CIG预制层
CIGS%磁控濺射%CIG預製層
CIGS%자공천사%CIG예제층
采用磁控溅射法制备了不同结构成分的铜铟镓(CIG)预制层,对预制层进行硒化得到铜铟镓硒(CIGS)薄膜.采用XRD、SEM及EDS研究了CIG预制层的结构成分对CIGS薄膜的组织与结构的影响.结果表明,不同结构成分的CIG预制层经过硒化后得到的CIGS薄膜中各元素的成分比例差别不大；采用Ga浓度相对较高的CuGa靶制备的两层结构的CIG预制层经硒化后生成的CIGS薄膜,其(112)面择优取向比较明显,晶粒尺寸相对较大.
採用磁控濺射法製備瞭不同結構成分的銅銦鎵(CIG)預製層,對預製層進行硒化得到銅銦鎵硒(CIGS)薄膜.採用XRD、SEM及EDS研究瞭CIG預製層的結構成分對CIGS薄膜的組織與結構的影響.結果錶明,不同結構成分的CIG預製層經過硒化後得到的CIGS薄膜中各元素的成分比例差彆不大；採用Ga濃度相對較高的CuGa靶製備的兩層結構的CIG預製層經硒化後生成的CIGS薄膜,其(112)麵擇優取嚮比較明顯,晶粒呎吋相對較大.
채용자공천사법제비료불동결구성분적동인가(CIG)예제층,대예제층진행서화득도동인가서(CIGS)박막.채용XRD、SEM급EDS연구료CIG예제층적결구성분대CIGS박막적조직여결구적영향.결과표명,불동결구성분적CIG예제층경과서화후득도적CIGS박막중각원소적성분비례차별불대；채용Ga농도상대교고적CuGa파제비적량층결구적CIG예제층경서화후생성적CIGS박막,기(112)면택우취향비교명현,정립척촌상대교대.
