中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2013年
5期
585-588,609
,共5页
卢清华%吴志伟%范彦斌%张宪民
盧清華%吳誌偉%範彥斌%張憲民
로청화%오지위%범언빈%장헌민
微定位平台%低成本%高精度%差式杠杆机构
微定位平檯%低成本%高精度%差式槓桿機構
미정위평태%저성본%고정도%차식강간궤구
对半导体及微纳制造等领域对微定位系统低成本高精度的要求,根据以宏观的输入获得微观的输出、低精度驱动器输入获得高精度输出的设计思想,设计了一种基于柔性铰链差式杠杆机构的低成本微定位平台.在该平台中,通过设计位移缩放机构,将驱动器的宏观输入位移进行比例缩小,实现平台的微观输出,降低微定位平台的成本.分析了微定位平台的刚度,并根据该平台定位机构所受载荷的不同,设计了两种不同的柔性铰链.在此基础上,建立了该平台的有限元分析模型,采用ANSYS对该平台的应力进行了分析,并对该平台的输出位移进行了仿真.仿真结果证明了该微定位平台的可行性.
對半導體及微納製造等領域對微定位繫統低成本高精度的要求,根據以宏觀的輸入穫得微觀的輸齣、低精度驅動器輸入穫得高精度輸齣的設計思想,設計瞭一種基于柔性鉸鏈差式槓桿機構的低成本微定位平檯.在該平檯中,通過設計位移縮放機構,將驅動器的宏觀輸入位移進行比例縮小,實現平檯的微觀輸齣,降低微定位平檯的成本.分析瞭微定位平檯的剛度,併根據該平檯定位機構所受載荷的不同,設計瞭兩種不同的柔性鉸鏈.在此基礎上,建立瞭該平檯的有限元分析模型,採用ANSYS對該平檯的應力進行瞭分析,併對該平檯的輸齣位移進行瞭倣真.倣真結果證明瞭該微定位平檯的可行性.
대반도체급미납제조등영역대미정위계통저성본고정도적요구,근거이굉관적수입획득미관적수출、저정도구동기수입획득고정도수출적설계사상,설계료일충기우유성교련차식강간궤구적저성본미정위평태.재해평태중,통과설계위이축방궤구,장구동기적굉관수입위이진행비례축소,실현평태적미관수출,강저미정위평태적성본.분석료미정위평태적강도,병근거해평태정위궤구소수재하적불동,설계료량충불동적유성교련.재차기출상,건립료해평태적유한원분석모형,채용ANSYS대해평태적응력진행료분석,병대해평태적수출위이진행료방진.방진결과증명료해미정위평태적가행성.
