兵工自动化
兵工自動化
병공자동화
ORDNANCE INDUSTRY AUTOMATION
2013年
5期
79-81,84
,共4页
周智%张之敬%张晓峰%唐永龙
週智%張之敬%張曉峰%唐永龍
주지%장지경%장효봉%당영룡
非硅MEMS%微小型结构%微装配%摄像机标定
非硅MEMS%微小型結構%微裝配%攝像機標定
비규MEMS%미소형결구%미장배%섭상궤표정
non-silicon MEMS%micro devices%micro-assembly%camera calibration
为满足非硅MEMS微小型结构件的高精度柔性装配需求，设计一种基于正交光路分时成像视觉对准的机器人串行微装配系统。介绍目前微小型结构、非硅MEMS和机器人微装配系统的发展概况，给出其总体结构组成及典型装配过程，重点分析视觉对准系统摄像机标定方法，对标定误差进行分析，最后对装配系统进行非硅MEMS典型零件装配实验分析。结果表明：所设计的装配系统视觉系统检测精度≤5.5μm，能满足一般精度的非硅MEMS微小型结构件装配要求。
為滿足非硅MEMS微小型結構件的高精度柔性裝配需求，設計一種基于正交光路分時成像視覺對準的機器人串行微裝配繫統。介紹目前微小型結構、非硅MEMS和機器人微裝配繫統的髮展概況，給齣其總體結構組成及典型裝配過程，重點分析視覺對準繫統攝像機標定方法，對標定誤差進行分析，最後對裝配繫統進行非硅MEMS典型零件裝配實驗分析。結果錶明：所設計的裝配繫統視覺繫統檢測精度≤5.5μm，能滿足一般精度的非硅MEMS微小型結構件裝配要求。
위만족비규MEMS미소형결구건적고정도유성장배수구，설계일충기우정교광로분시성상시각대준적궤기인천행미장배계통。개소목전미소형결구、비규MEMS화궤기인미장배계통적발전개황，급출기총체결구조성급전형장배과정，중점분석시각대준계통섭상궤표정방법，대표정오차진행분석，최후대장배계통진행비규MEMS전형령건장배실험분석。결과표명：소설계적장배계통시각계통검측정도≤5.5μm，능만족일반정도적비규MEMS미소형결구건장배요구。
10.7690/bgzdh.2013.05.021
