陕西理工学院学报（自然科学版）
陝西理工學院學報（自然科學版）
협서리공학원학보（자연과학판）
JOURNAL OF SHAANXI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY （NATURAL SCIENCE EDITION）
2013年
6期
1-5
,共5页
微机电系统%圆锥螺旋微弹簧%有限元方法%非线性
微機電繫統%圓錐螺鏇微彈簧%有限元方法%非線性
미궤전계통%원추라선미탄황%유한원방법%비선성
MEMS%conical helical micro-spring%finit element method ( FEM)%nonlinear
弹簧作为控制机件运动、缓和冲击或震动、贮蓄能量的基本机械零件，它的作用在微机电系统（ MEMS ）中不可替代。设计一种应用于MEMS的圆锥形微弹簧，通过有限元方法对圆锥微弹簧非线性接触状态下，所表现的弹性特性进行了计算，得到微弹簧弹性特性曲线，并对微弹簧的非线性特性进行了分析，结果表明圆锥弹簧的刚度具有明显的非线性。有限元计算结果与理论公式计算结果基本一致，说明了采用有限元方法的可靠性。这种方法的采用对于微弹簧的优化、设计与加工具有实际意义。
彈簧作為控製機件運動、緩和遲擊或震動、貯蓄能量的基本機械零件，它的作用在微機電繫統（ MEMS ）中不可替代。設計一種應用于MEMS的圓錐形微彈簧，通過有限元方法對圓錐微彈簧非線性接觸狀態下，所錶現的彈性特性進行瞭計算，得到微彈簧彈性特性麯線，併對微彈簧的非線性特性進行瞭分析，結果錶明圓錐彈簧的剛度具有明顯的非線性。有限元計算結果與理論公式計算結果基本一緻，說明瞭採用有限元方法的可靠性。這種方法的採用對于微彈簧的優化、設計與加工具有實際意義。
탄황작위공제궤건운동、완화충격혹진동、저축능량적기본궤계령건，타적작용재미궤전계통（ MEMS ）중불가체대。설계일충응용우MEMS적원추형미탄황，통과유한원방법대원추미탄황비선성접촉상태하，소표현적탄성특성진행료계산，득도미탄황탄성특성곡선，병대미탄황적비선성특성진행료분석，결과표명원추탄황적강도구유명현적비선성。유한원계산결과여이론공식계산결과기본일치，설명료채용유한원방법적가고성。저충방법적채용대우미탄황적우화、설계여가공구유실제의의。
Spring plays an irreplaceable role in micro-electromechanical systems in controlling mechani-cal movements , easing shock or vibration and storing energy .This paper presents a micro-conical springs used in MEMS,and through the finite element method for nonlinear contact springs conical micro-state,the perform-ance of the elastic properties of the spring was calculated to obtain a micro-elastic spring characteristic curve , and micro-nonlinear spring characteristics were analyzed .The results show a significant conical spring nonlin-ear stiffness .Finite element calculation results and the theoretical formula calculation results are basically iden-tical,which also shows the reliability of the finite element method ,The method is of practical significance in the optimization ,design ang processing of the micro-spring .
