哈尔滨理工大学学报
哈爾濱理工大學學報
합이빈리공대학학보
JOURNAL OF HARBIN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
2011年
6期
97-103
,共7页
李东洁%王金玉%尤波%肖万哲
李東潔%王金玉%尤波%肖萬哲
리동길%왕금옥%우파%초만철
纳米操作系统%纳米操作方法%研究现状%关键技术
納米操作繫統%納米操作方法%研究現狀%關鍵技術
납미조작계통%납미조작방법%연구현상%관건기술
针对目前的纳米操作系统,将其分为基于扫描探针显微镜(SPM)的纳米操作系统、基于电子显微镜(EM)的纳米操作系统、原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)的混合纳米操作系统以及融合虚拟现实(VR)技术的纳米操作系统4类；分别对其发展现状进行了阐述.分析了当前纳米操作方法的研究现状和当今纳米操作的关键技术.最后,通过对纳米操作研究进展的归纳,总结了国内外纳米操作的发展趋势,指出了目前纳米操作技术的优点与不足.
針對目前的納米操作繫統,將其分為基于掃描探針顯微鏡(SPM)的納米操作繫統、基于電子顯微鏡(EM)的納米操作繫統、原子力顯微鏡(AFM)和掃描電子顯微鏡(SEM)的混閤納米操作繫統以及融閤虛擬現實(VR)技術的納米操作繫統4類；分彆對其髮展現狀進行瞭闡述.分析瞭噹前納米操作方法的研究現狀和噹今納米操作的關鍵技術.最後,通過對納米操作研究進展的歸納,總結瞭國內外納米操作的髮展趨勢,指齣瞭目前納米操作技術的優點與不足.
침대목전적납미조작계통,장기분위기우소묘탐침현미경(SPM)적납미조작계통、기우전자현미경(EM)적납미조작계통、원자력현미경(AFM)화소묘전자현미경(SEM)적혼합납미조작계통이급융합허의현실(VR)기술적납미조작계통4류；분별대기발전현상진행료천술.분석료당전납미조작방법적연구현상화당금납미조작적관건기술.최후,통과대납미조작연구진전적귀납,총결료국내외납미조작적발전추세,지출료목전납미조작기술적우점여불족.
