计算机集成制造系统
計算機集成製造繫統
계산궤집성제조계통
COMPUTER INTEGRATED MANUFACTURING SYSTEMS
2013年
6期
1313-1320
,共8页
晶圆制造%整体式布局%自动物料搬运系统%排队模型%连续物料搬运
晶圓製造%整體式佈跼%自動物料搬運繫統%排隊模型%連續物料搬運
정원제조%정체식포국%자동물료반운계통%배대모형%련속물료반운
wafer fabrications%united layout%automated material handling system%queuing model%continuous flow transporters
为了快速、准确地评估整体式连续自动物料搬运系统的在制品量,引入排队理论中的相关知识构建了数学性能分析模型.在考虑捷径布置与转向装置服务时间变动性的基础上,采用合适的排队模型构建针对Inter-bay的性能分析模型.在考虑加工设备有限缓存容量、损失晶舟循环反馈的情况下,应用M/M/I/K模型及其反馈特性构建Inrabay的性能分析模型.以24个Intrabay的300mm晶圆制造系统为例来验证分析模型.通过与A-rena软件仿真结果对比分析,证明了数学分析模型在评估系统在制品、设备利用率等相关性能方面的准确性.
為瞭快速、準確地評估整體式連續自動物料搬運繫統的在製品量,引入排隊理論中的相關知識構建瞭數學性能分析模型.在攷慮捷徑佈置與轉嚮裝置服務時間變動性的基礎上,採用閤適的排隊模型構建針對Inter-bay的性能分析模型.在攷慮加工設備有限緩存容量、損失晶舟循環反饋的情況下,應用M/M/I/K模型及其反饋特性構建Inrabay的性能分析模型.以24箇Intrabay的300mm晶圓製造繫統為例來驗證分析模型.通過與A-rena軟件倣真結果對比分析,證明瞭數學分析模型在評估繫統在製品、設備利用率等相關性能方麵的準確性.
위료쾌속、준학지평고정체식련속자동물료반운계통적재제품량,인입배대이론중적상관지식구건료수학성능분석모형.재고필첩경포치여전향장치복무시간변동성적기출상,채용합괄적배대모형구건침대Inter-bay적성능분석모형.재고필가공설비유한완존용량、손실정주순배반궤적정황하,응용M/M/I/K모형급기반궤특성구건Inrabay적성능분석모형.이24개Intrabay적300mm정원제조계통위례래험증분석모형.통과여A-rena연건방진결과대비분석,증명료수학분석모형재평고계통재제품、설비이용솔등상관성능방면적준학성.
