科技信息
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과기신식
SCIENTIFIC & TECHNICAL INFORMATION
2014年
11期
70-72
,共3页
黄廷昭%童成盛%万培元%林平分
黃廷昭%童成盛%萬培元%林平分
황정소%동성성%만배원%림평분
MEMS加速度计%VerilogA%静电力%闭环反馈
MEMS加速度計%VerilogA%靜電力%閉環反饋
MEMS가속도계%VerilogA%정전력%폐배반궤
本文针对体硅梳齿结构的电容式加速度传感器进行建模,考虑到了极板间静电力影响,对闭环反馈式加速度检测系统的设计及调节提供了可能及便利；基于VerilogA对该模型进行描述,使其能够和主流的IC电路设计工具进行兼容,对于系统功能搭建及性能的调节具有直接性,便利性.根据仿真结果表明,该模型如实反映了MEMS电容式加速度计的工作状态,尤其对闭环加速度计检测系统的设计提供有效的帮助.
本文針對體硅梳齒結構的電容式加速度傳感器進行建模,攷慮到瞭極闆間靜電力影響,對閉環反饋式加速度檢測繫統的設計及調節提供瞭可能及便利；基于VerilogA對該模型進行描述,使其能夠和主流的IC電路設計工具進行兼容,對于繫統功能搭建及性能的調節具有直接性,便利性.根據倣真結果錶明,該模型如實反映瞭MEMS電容式加速度計的工作狀態,尤其對閉環加速度計檢測繫統的設計提供有效的幫助.
본문침대체규소치결구적전용식가속도전감기진행건모,고필도료겁판간정전력영향,대폐배반궤식가속도검측계통적설계급조절제공료가능급편리；기우VerilogA대해모형진행묘술,사기능구화주류적IC전로설계공구진행겸용,대우계통공능탑건급성능적조절구유직접성,편리성.근거방진결과표명,해모형여실반영료MEMS전용식가속도계적공작상태,우기대폐배가속도계검측계통적설계제공유효적방조.
