强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2014年
3期
139-142
,共4页
赵恒%鄢定尧%蔡红梅%鲍振军
趙恆%鄢定堯%蔡紅梅%鮑振軍
조항%언정요%채홍매%포진군
摇摆式抛光%加工参数%轨迹长度%去除模型
搖襬式拋光%加工參數%軌跡長度%去除模型
요파식포광%가공삼수%궤적장도%거제모형
swinging polishing%machining parameters%track length%removal model
为了完善平面摇摆式抛光的理论并指导加工,基于Preston方程建立了平面摇摆式加工的去除模型,并使用该模型在Matlab中仿真计算元件上各点在不同加工参数情况下的去除量,最终得到不同加工参数情况下所产生的不同去除形貌.通过控制不同参数在430 mm×430 mm平面石英元件上进行抛光实验,验证去除模型的正确性,对比相同参数下仿真得到的去除形貌和加工后检测得到的面形图可知该去除模型能够正确预测不同加工参数时的去除量,从而证实了该模型能够准确、有效地指导摇摆式抛光.
為瞭完善平麵搖襬式拋光的理論併指導加工,基于Preston方程建立瞭平麵搖襬式加工的去除模型,併使用該模型在Matlab中倣真計算元件上各點在不同加工參數情況下的去除量,最終得到不同加工參數情況下所產生的不同去除形貌.通過控製不同參數在430 mm×430 mm平麵石英元件上進行拋光實驗,驗證去除模型的正確性,對比相同參數下倣真得到的去除形貌和加工後檢測得到的麵形圖可知該去除模型能夠正確預測不同加工參數時的去除量,從而證實瞭該模型能夠準確、有效地指導搖襬式拋光.
위료완선평면요파식포광적이론병지도가공,기우Preston방정건립료평면요파식가공적거제모형,병사용해모형재Matlab중방진계산원건상각점재불동가공삼수정황하적거제량,최종득도불동가공삼수정황하소산생적불동거제형모.통과공제불동삼수재430 mm×430 mm평면석영원건상진행포광실험,험증거제모형적정학성,대비상동삼수하방진득도적거제형모화가공후검측득도적면형도가지해거제모형능구정학예측불동가공삼수시적거제량,종이증실료해모형능구준학、유효지지도요파식포광.
