强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2014年
3期
108-113
,共6页
姜涛%杨炜%郭隐彪%王健
薑濤%楊煒%郭隱彪%王健
강도%양위%곽은표%왕건
中频误差%经验模态分解%固有模态函数%Wigner分布
中頻誤差%經驗模態分解%固有模態函數%Wigner分佈
중빈오차%경험모태분해%고유모태함수%Wigner분포
mid-spatial frequency error%empirical mode decomposition%intrinsic mode function%Wigner-Ville distribution
对于大尺寸高精密光学元件,不仅要对光学元件表面低频面形精度和高频粗糙度进行控制,还需要严格限制中频误差,以保证其使用性能和稳定性.为了确定光学元件的不合格区域并指导其返修,引入经验模态分解(EMD)和Wigner分布(WVD)函数方法,通过理论分析确定该方法与功率谱密度函数间的关系,实现对光学元件表面中频误差的辨识与定位.实验结果表明:EMDWVD方法不仅可以识别分布在实验光学元件表面15～27 mm空间频率为0.1mm-1的中频误差,还可以减小多分量信号所引起的空间频率为1.0～1.5 mm-1的交叉项干扰,提高中频误差辨识的准确率.
對于大呎吋高精密光學元件,不僅要對光學元件錶麵低頻麵形精度和高頻粗糙度進行控製,還需要嚴格限製中頻誤差,以保證其使用性能和穩定性.為瞭確定光學元件的不閤格區域併指導其返脩,引入經驗模態分解(EMD)和Wigner分佈(WVD)函數方法,通過理論分析確定該方法與功率譜密度函數間的關繫,實現對光學元件錶麵中頻誤差的辨識與定位.實驗結果錶明:EMDWVD方法不僅可以識彆分佈在實驗光學元件錶麵15～27 mm空間頻率為0.1mm-1的中頻誤差,還可以減小多分量信號所引起的空間頻率為1.0～1.5 mm-1的交扠項榦擾,提高中頻誤差辨識的準確率.
대우대척촌고정밀광학원건,불부요대광학원건표면저빈면형정도화고빈조조도진행공제,환수요엄격한제중빈오차,이보증기사용성능화은정성.위료학정광학원건적불합격구역병지도기반수,인입경험모태분해(EMD)화Wigner분포(WVD)함수방법,통과이론분석학정해방법여공솔보밀도함수간적관계,실현대광학원건표면중빈오차적변식여정위.실험결과표명:EMDWVD방법불부가이식별분포재실험광학원건표면15～27 mm공간빈솔위0.1mm-1적중빈오차,환가이감소다분량신호소인기적공간빈솔위1.0～1.5 mm-1적교차항간우,제고중빈오차변식적준학솔.
