深圳大学学报（理工版）
深圳大學學報（理工版）
심수대학학보（리공판）
JOURNAL OF SHENZHEN UNIVERSITY (SCIENCE & ENGINEERING)
2013年
6期
623-628
,共6页
胡居广%汤华斌%李启文%李学金%郑彬%刘毅%龙井华%林晓东
鬍居廣%湯華斌%李啟文%李學金%鄭彬%劉毅%龍井華%林曉東
호거엄%탕화빈%리계문%리학금%정빈%류의%룡정화%림효동
薄膜物理%激光退火%铜铟镓硒薄膜%能量密度%结晶%压应力%表面条纹
薄膜物理%激光退火%銅銦鎵硒薄膜%能量密度%結晶%壓應力%錶麵條紋
박막물리%격광퇴화%동인가서박막%능량밀도%결정%압응력%표면조문
thin film physics%laser annealing%CuIn1-x GaxSe2 films%energy density%crystallization%compressive stress%surface stripes
利用脉冲激光沉积法在石英基底上沉积铜铟镓硒薄膜为前驱物,采用波长1 064 nm的近红外脉冲激光在不同能量密度下对其进行退火晶化.对薄膜的光学特性、晶体结构和形貌等进行表征分析,结果表明,随着激光能量密度增加,铜铟镓硒薄膜结晶度增加,晶粒尺寸变大,压应力减小,禁带宽度增加.当激光能量密度为325 mJ/cm2时,薄膜的结晶度达最高值29.46％,晶粒尺寸达最大为15.4 nm,压应力最小,薄膜结晶质量最好,过低和过高的能量密度都不利于薄膜的结晶.同时分析了高能量密度时薄膜表面条纹的形成机理.
利用脈遲激光沉積法在石英基底上沉積銅銦鎵硒薄膜為前驅物,採用波長1 064 nm的近紅外脈遲激光在不同能量密度下對其進行退火晶化.對薄膜的光學特性、晶體結構和形貌等進行錶徵分析,結果錶明,隨著激光能量密度增加,銅銦鎵硒薄膜結晶度增加,晶粒呎吋變大,壓應力減小,禁帶寬度增加.噹激光能量密度為325 mJ/cm2時,薄膜的結晶度達最高值29.46％,晶粒呎吋達最大為15.4 nm,壓應力最小,薄膜結晶質量最好,過低和過高的能量密度都不利于薄膜的結晶.同時分析瞭高能量密度時薄膜錶麵條紋的形成機理.
이용맥충격광침적법재석영기저상침적동인가서박막위전구물,채용파장1 064 nm적근홍외맥충격광재불동능량밀도하대기진행퇴화정화.대박막적광학특성、정체결구화형모등진행표정분석,결과표명,수착격광능량밀도증가,동인가서박막결정도증가,정립척촌변대,압응력감소,금대관도증가.당격광능량밀도위325 mJ/cm2시,박막적결정도체최고치29.46％,정립척촌체최대위15.4 nm,압응력최소,박막결정질량최호,과저화과고적능량밀도도불리우박막적결정.동시분석료고능량밀도시박막표면조문적형성궤리.
