计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2013年
6期
617-622
,共6页
王海%刘芬%阚莹%宋小平%赵良仲%邱丽美
王海%劉芬%闞瑩%宋小平%趙良仲%邱麗美
왕해%류분%감형%송소평%조량중%구려미
计量学%厚度测量%栅氧化层%SiO2/Si%表面化学分析%X射线光电子能谱%关键比对
計量學%厚度測量%柵氧化層%SiO2/Si%錶麵化學分析%X射線光電子能譜%關鍵比對
계량학%후도측량%책양화층%SiO2/Si%표면화학분석%X사선광전자능보%관건비대
Metrology%Thickness measurement%Gate oxide%SiO2/Si%Surface chemical analysis%X-ray photoelectron spectroscopy%Key comparison
利用X射线光电子能谱技术,建立了硅片表面超薄氧化硅层厚度(小于10 nm)准确测量方法.中国计量科学研究院参加了国际关键比对CCQM-K32,根据公布的国际关键比对结果,中国计量科学研究院的测量结果与参比的各国国家计量研究院的测量结果达到了等效一致,测量结果的不确定度为4.6％～7.0％.
利用X射線光電子能譜技術,建立瞭硅片錶麵超薄氧化硅層厚度(小于10 nm)準確測量方法.中國計量科學研究院參加瞭國際關鍵比對CCQM-K32,根據公佈的國際關鍵比對結果,中國計量科學研究院的測量結果與參比的各國國傢計量研究院的測量結果達到瞭等效一緻,測量結果的不確定度為4.6％～7.0％.
이용X사선광전자능보기술,건립료규편표면초박양화규층후도(소우10 nm)준학측량방법.중국계량과학연구원삼가료국제관건비대CCQM-K32,근거공포적국제관건비대결과,중국계량과학연구원적측량결과여삼비적각국국가계량연구원적측량결과체도료등효일치,측량결과적불학정도위4.6％～7.0％.
