计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2013年
6期
519-523
,共5页
李庆贤%高思田%李伟%施玉书%卢明臻%陈本永
李慶賢%高思田%李偉%施玉書%盧明臻%陳本永
리경현%고사전%리위%시옥서%로명진%진본영
计量学%纳米位移%激光干涉%高稳定性平面镜干涉仪%误差分析
計量學%納米位移%激光榦涉%高穩定性平麵鏡榦涉儀%誤差分析
계량학%납미위이%격광간섭%고은정성평면경간섭의%오차분석
Metrology%Nanometer displacement%Laser interferometer%HSPMI%Error analysis
基于高稳定性平面镜干涉仪(HSPMI)构建了一套激光干涉纳米位移校准系统.描述了该系统的组成,设计了基于VME总线的数字信号处理计算机软件程序,对影响系统测量不确定度的各类误差进行了分析,得出该校准系统测量不确定度为2.93 nm.分别对系统稳定性和纳米级位移测试进行了实验,验证了构建系统的有效性和实用性.
基于高穩定性平麵鏡榦涉儀(HSPMI)構建瞭一套激光榦涉納米位移校準繫統.描述瞭該繫統的組成,設計瞭基于VME總線的數字信號處理計算機軟件程序,對影響繫統測量不確定度的各類誤差進行瞭分析,得齣該校準繫統測量不確定度為2.93 nm.分彆對繫統穩定性和納米級位移測試進行瞭實驗,驗證瞭構建繫統的有效性和實用性.
기우고은정성평면경간섭의(HSPMI)구건료일투격광간섭납미위이교준계통.묘술료해계통적조성,설계료기우VME총선적수자신호처리계산궤연건정서,대영향계통측량불학정도적각류오차진행료분석,득출해교준계통측량불학정도위2.93 nm.분별대계통은정성화납미급위이측시진행료실험,험증료구건계통적유효성화실용성.
