兵工学报
兵工學報
병공학보
ACTA ARMAMENTARII
2013年
10期
1236-1242
,共7页
李延宁%阮勇%尤政%徐宏伟%黎玉刚
李延寧%阮勇%尤政%徐宏偉%黎玉剛
리연저%원용%우정%서굉위%려옥강
电子技术%可变电容%微机电系统%仿真设计%蛇形梁%Q值
電子技術%可變電容%微機電繫統%倣真設計%蛇形樑%Q值
전자기술%가변전용%미궤전계통%방진설계%사형량%Q치
electronics technology%tunable capacitor%micro-electro-mechanical system%simulation design%serpentine spring%Q factor
提出了一种叉指式微机电系统(MEMS)可变电容设计方案,并从结构、电学特性、工艺三方面进行了仿真设计.由仿真结果可知:驱动电压为67 V时,该设计理论电容可调率3.45,电容调节范围88.16～392.19 fF,谐振频率36 GHz,Q值223(1 GHz),反射衰减0.002 25 dB,插入损耗42.75 dB.与其他形式可变电容相比,该设计理论电容具有高Q值、高电容可调率和工艺简单的技术优势.
提齣瞭一種扠指式微機電繫統(MEMS)可變電容設計方案,併從結構、電學特性、工藝三方麵進行瞭倣真設計.由倣真結果可知:驅動電壓為67 V時,該設計理論電容可調率3.45,電容調節範圍88.16～392.19 fF,諧振頻率36 GHz,Q值223(1 GHz),反射衰減0.002 25 dB,插入損耗42.75 dB.與其他形式可變電容相比,該設計理論電容具有高Q值、高電容可調率和工藝簡單的技術優勢.
제출료일충차지식미궤전계통(MEMS)가변전용설계방안,병종결구、전학특성、공예삼방면진행료방진설계.유방진결과가지:구동전압위67 V시,해설계이론전용가조솔3.45,전용조절범위88.16～392.19 fF,해진빈솔36 GHz,Q치223(1 GHz),반사쇠감0.002 25 dB,삽입손모42.75 dB.여기타형식가변전용상비,해설계이론전용구유고Q치、고전용가조솔화공예간단적기술우세.
