光波干涉法检定量具平面性及尺寸应用
광파간섭법검정량구평면성급척촌응용
Optical Interference Method Application in the Plane and Size of Measurement
  • 万方数据
    计量与测试技术 계량여측시기술
    METROLOGY & MEASUREMENT TECHNIQUE
    2013年 11期 19,21 ,共2页

    薛永明%方馗

    설영명%방규

    平晶%千分尺%量块 平晶%韆分呎%量塊
    평정%천분척%량괴
    平晶是目前用来检定计量器具工作面平面性或平行性的主要量具.本文简要介绍了利用平晶和光波干涉法检定量具平面度和平行性的示值误差的方法.
    평정시목전용래검정계량기구공작면평면성혹평행성적주요량구.본문간요개소료이용평정화광파간섭법검정량구평면도화평행성적시치오차적방법.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문