发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2013年
11期
1517-1520
,共4页
张祥伟%宁永强%秦莉%刘云%王立军
張祥偉%寧永彊%秦莉%劉雲%王立軍
장상위%저영강%진리%류운%왕립군
垂直腔面发射激光器%氧化光栅%偏振控制
垂直腔麵髮射激光器%氧化光柵%偏振控製
수직강면발사격광기%양화광책%편진공제
vertical-cavity surface-emitting laser%oxide-grating%polarization controlling
通过分析矩形出光孔径和亚波长金属光栅结构,发现大孔径高功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)的偏振控制的难点在于横模非常复杂.因此提出一种新型的氧化光栅型VCSEL结构,不仅能够很好地在有源区内引入各项异性的增益结构,并且最大的优势还在于能够完美地控制大孔径VCSEL的横模.通过有限元软件对器件有源区的电流分布进行了模拟,发现当光栅脊的宽度为1.8 μm时,载流子在光栅两端聚集的现象基本上可以消除,而且其电流密度分布差可以达到很高.
通過分析矩形齣光孔徑和亞波長金屬光柵結構,髮現大孔徑高功率垂直腔麵髮射激光器(VCSEL)的偏振控製的難點在于橫模非常複雜.因此提齣一種新型的氧化光柵型VCSEL結構,不僅能夠很好地在有源區內引入各項異性的增益結構,併且最大的優勢還在于能夠完美地控製大孔徑VCSEL的橫模.通過有限元軟件對器件有源區的電流分佈進行瞭模擬,髮現噹光柵脊的寬度為1.8 μm時,載流子在光柵兩耑聚集的現象基本上可以消除,而且其電流密度分佈差可以達到很高.
통과분석구형출광공경화아파장금속광책결구,발현대공경고공솔수직강면발사격광기(VCSEL)적편진공제적난점재우횡모비상복잡.인차제출일충신형적양화광책형VCSEL결구,불부능구흔호지재유원구내인입각항이성적증익결구,병차최대적우세환재우능구완미지공제대공경VCSEL적횡모.통과유한원연건대기건유원구적전류분포진행료모의,발현당광책척적관도위1.8 μm시,재류자재광책량단취집적현상기본상가이소제,이차기전류밀도분포차가이체도흔고.
