富硅a-SiOxNy∶H薄膜的电致发光特性
부규a-SiOxNy∶H박막적전치발광특성
Electroluminescence Characteristics of Si-rich a-SiOxNy∶ H Flims
  • 万方数据
    发光学报 발광학보
    CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
    2013年 11期 1479-1482 ,共4页

    林泽文%林圳旭%宋超%张毅%王祥%郭艳青%宋捷%黄新堂%黄锐

    림택문%림수욱%송초%장의%왕상%곽염청%송첩%황신당%황예

    氮氧化硅薄膜%红光%电致发光 氮氧化硅薄膜%紅光%電緻髮光
    담양화규박막%홍광%전치발광
    silicon oxynitride%red luminescence%electroluminescence
    采用甚高频等离子体增强化学气相沉积方法制备富硅氮氧化硅(a-SiO0.35N0.59∶H)薄膜,以这层薄膜作为有源层构建发光二极管.实验结果表明器件在室温下可观测到强的电致红光发射,发光峰在715 nm附近,与其光致发光峰位一致.电致发光谱测量还表明器件开启电压为8V,器件的电致发光强度随注入电流的增大呈线性递增关系.电流-电压特性分析表明器件的载流子输运机制以Pool-Frenkel (P-F)发射模型为主.结合发光有源层的微结构分析,初步认为电致红光发射来自于电子和空穴通过有源层的带尾态的辐射复合.
    채용심고빈등리자체증강화학기상침적방법제비부규담양화규(a-SiO0.35N0.59∶H)박막,이저층박막작위유원층구건발광이겁관.실험결과표명기건재실온하가관측도강적전치홍광발사,발광봉재715 nm부근,여기광치발광봉위일치.전치발광보측량환표명기건개계전압위8V,기건적전치발광강도수주입전류적증대정선성체증관계.전류-전압특성분석표명기건적재류자수운궤제이Pool-Frenkel (P-F)발사모형위주.결합발광유원층적미결구분석,초보인위전치홍광발사래자우전자화공혈통과유원층적대미태적복사복합.
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